VarioStocker: Flexibles automatisiertes Lagersystem für Halbleiterfabriken
Der VarioStocker ist ein flexibles automatisiertes Lagersystem für die platzsparende Lagerung und Bereitstellung von Wafer-Carriern in Halbleiterfabriken. Das automatisierte Lagersystem lässt sich an unterschiedliche Fab-Layouts, Lagerkapazitäten und Carrier-Typen anpassen.
Mit einer konfigurierbaren Länge von bis zu 15 m, einfach- oder doppeltiefen Lagerplätzen und verschiedenen Möglichkeiten zur Materialübergabe verbindet der VarioStocker hohe Lagerdichte mit einer bedarfsgerechten Integration in den Reinraum.
Hohe Lagerkapazität auf begrenzter Reinraumfläche
In Halbleiterfabriken treffen steigende Anforderungen an Materialverfügbarkeit und Automatisierung auf begrenzte Reinraumflächen. Wafer Carrier müssen kontrolliert gelagert und zuverlässig für nachfolgende Prozessschritte bereitgestellt werden.
Der VarioStocker nutzt einfach- oder doppeltiefe Lagerplätze, um eine hohe Lagerdichte zu erreichen. Die Konfiguration wird an Carrier-Typ, verfügbare Fläche und erforderliche Kapazität angepasst. Bis zu zwei Seiten des automatisierten Lagersystems können direkt an bestehenden Reinraumwänden installiert werden. Bei stirnseitiger Integration ist die Anbindung an bis zu drei Seiten möglich.
VarioStocker für flexible Fab-Layouts und Materialflüsse
Der VarioStocker übernimmt die automatisierte Einlagerung und Bereitstellung von Carriern. Unterstützt werden unter anderem HA200, FOUP, FOSB und SMIF sowie weitere kundenspezifische Carrier-Typen. Die Lagerung ist für Reinraumumgebungen bis ISO-Klasse 5 gemäß ISO 14644 ausgelegt.
Für die Materialübergabe stehen unter anderem manuelle Ports, OHT-I/O-Anbindungen, Conveyor-Erweiterungen, Equipment-Ports und Dockingstationen für Batch-Transportwagen zur Verfügung. Die Schnittstellen SEMI E88 MCS und SEMI E84 Transfer unterstützen die Integration in die Fab-Automatisierung.
Für Anwendungen mit hohen Anforderungen an Verfügbarkeit und Produktivität kann ein zweiter autonomer Handler integriert werden. Dadurch entsteht Redundanz innerhalb des automatisierten Lagersystems. Eine Purge-Funktion kann direkt integriert oder optional nachgerüstet werden.
Funktionen und Eigenschaften des VarioStockers
Variable Abmessungen und Aufstellung:
Mit einer konfigurierbaren Länge von bis zu 15 m lässt sich der VarioStocker an unterschiedliche Raumgrößen und Anlagenlayouts anpassen. Je nach Einbausituation können bis zu zwei Seiten direkt an bestehenden Reinraumwänden positioniert werden. Bei stirnseitiger Integration sind Konfigurationen mit bis zu drei an Reinraumwände angrenzenden Seiten möglich.
Hohe Lagerdichte:
Einfach- und doppeltiefe Lagerkonfigurationen ermöglichen eine hohe Anzahl von Lagerplätzen auf kompakter Stellfläche. Die Kapazität wird entsprechend Carrier-Typ und Anlagenkonfiguration ausgelegt.
Unterstützung verschiedener Carrier-Typen:
Der VarioStocker unterstützt HA200, FOUP, FOSB, SMIF und weitere kundenspezifische Carrier-Typen.
Konfigurierbare Materialübergabe:
Manuelle Ports, OHT-I/O-Anbindungen, Conveyor-Erweiterungen, Equipment-Ports und Dockingstationen ermöglichen die Integration in unterschiedliche Materialflusskonzepte.
Redundante Materialhandhabung:
Ein optionaler zweiter autonomer Handler erhöht die Verfügbarkeit des automatisierten Lagersystems.
Reinraumgerechte Lagerung:
Der VarioStocker ist für Reinraumumgebungen bis ISO-Klasse 5 gemäß ISO 14644 spezifiziert.
Standardisierte Automatisierungsschnittstellen:
SEMI E88 MCS und SEMI E84 Transfer unterstützen die Integration in automatisierte Halbleiterfabriken.
Lagerverwaltung mit SWarePro:
SWarePro übernimmt die Lagerverwaltung des automatisierten Lagersystems.
Vorteile für Halbleiterfabriken
Niedrige Gesamtbetriebskosten:
Eine bedarfsgerechte Konfiguration, hohe Lagerdichte und modulare Bauweise tragen zu niedrigen Total Cost of Ownership (TCO) über den Lebenszyklus des VarioStocker bei.
Hohe Verfügbarkeit:
Der VarioStocker ist auf maximale Anlagenverfügbarkeit ausgelegt. Für zusätzliche Redundanz kann das automatisierte Lagersystem mit einem zweiten autonomen Handler ausgestattet werden.
Hohe Flächeneffizienz:
Einfach- oder doppeltiefe Lagerplätze ermöglichen eine hohe Lagerdichte auf kompakter Reinraumfläche.
Hohe Flexibilität bei der Anlagenplanung:
Variable Abmessungen, unterschiedliche Lagerkonfigurationen und verschiedene Optionen zur Materialübergabe ermöglichen die Anpassung an Carrier-Typ, Lagerkapazität, Fab-Layout und kundenspezifische Anforderungen.
Vibrationsfreier Transport:
Der VarioStocker ermöglicht den vibrationsfreien Transport der Carrier innerhalb des automatisierten Lagersystems und unterstützt damit eine kontrollierte Materialhandhabung.
Schnelle Installation und Inbetriebnahme:
Der modulare Aufbau unterstützt eine schnelle Installation und Inbetriebnahme des VarioStocker in der Produktionsumgebung.
Virtuelle Inbetriebnahme: Eine virtuelle Inbetriebnahme am Herstellerstandort mit Kundenanbindung ermöglicht die frühzeitige Prüfung der Systemfunktionen vor der Installation vor Ort.
Downloads:
[* SCI ist jetzt Fabmatics. Diese Produktunterlagen wurden vor der Integration der Geschäftsaktivitäten der SCI in Fabmatics erstellt und können daher noch das bisherige SCI-Design enthalten. Ein Update erfolgt in Kürze.]
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