Begrenzte Reinraumfläche als strukturelle Herausforderung

In 200mm Chipfabriken ist Reinraumfläche begrenzt und kostenintensiv. Klassische bodenbasierte Lagerlösungen konkurrieren direkt mit Prozessanlagen um Platz.

Gleichzeitig steigt der Bedarf an flexiblem, rückverfolgbarem WIP Handling mit direkter Anbindung an Transport- und Hostsysteme. Eine platzsparende, skalierbare Lagerlösung ist daher erforderlich, ohne bestehende Produktionsabläufe zu unterbrechen.

Platzsparende Lagerung unter der Reinraumdecke

Der FlatStocker ist die ideale Lösung zur platzsparenden Lagerung von Produktträgern, wie z. B. für offene Wafer-Kassetten, HA-200 Boxen oder SMIF-Pods, unterhalb der Reinraumdecke. Ein integriertes 4 -Achs Gantry Handlingsystem führt vollautomatisch die Ein und Auslagerung der Produktträger aus. Verbunden mit einem Transportsystem (zb. Conveyor) und vertikalen Liften ermöglicht das System ein schnelles Einlagern oder Zugreifen auf die Lose.

Systemfunktionen auf einen Blick

  • Das deckenmontierte Automatisierungssystem verlagert Lagerkapazität nach oben und spart dadurch wertvolle Reinraum-Bodenfläche
  • Das 4 Achs Gantry ermöglicht vollautomatisches Handling und führt zu reproduzierbaren, schnellen Lager- und Abrufprozessen.
  • Das modulare Design mit 3,6 m Segmenten erlaubt freie Skalierung bis zu einer Gesamtlänge von ca. 46 m
  • Integrierte Identifikation per RFID oder Barcode ermöglicht lückenlose Standortermittlung der Lose in Echtzeit und Host Anbindung an MCS/MES.
  • Der Einsatz von Filter Fan Units (FFUs) ermöglicht den dauerhaften Einsatz in hochreinen Produktionsumgebungen und stellt die benötigte ISO 3 Reinraumklasse sicher.
Anwendernutzen in 200‑mm‑Fabs

Der FlatStocker unterstützt eine effiziente Zero Footprint Strategie in Halbleiterfabriken und verbessert die Flächennutzung ohne Eingriffe in bestehende Prozesse.

  • Reduzierung des Flächenbedarfs für Lagerfunktionen im Reinraum.
  • Hohe Anlagenverfügbarkeit durch automatisches Teaching und wartungsfreundlichen Zugang von unten.
  • Flexible Erweiterbarkeit bei steigenden Kapazitätsanforderungen.
  • Transparente Materialverfolgung durch standardisierte SEMI Schnittstellen.
  • Flexible Anpassung der Konstruktion nach Kundenwunsch.
Anwendungsbereiche in der Halbleiterfertigung

Der FlatStocker wird in 200mm Halbleiterfabriken eingesetzt, insbesondere über Prozessanlagen, Interbay oder Intrabay-Korridoren. Typische Anwendungen sind die Zwischenlagerung von WIP, die Bereitstellung von Waferkassetten für Prozessschritte sowie die Integration als automatisches Lagersystem für Wafer in bestehende Transport- und Automatisierungslandschaften.

Das einfache Design bietet größte Flexibilität für effiziente Anpassungen auf Kundenwunsch.

Technische Eckdaten
  • Handlingmaterial: 200mm Offene Waferkassetten, HA-200 Boxen, SMIF-Pods.
  • Gesamtlänge: skalierbar bis ca. 46 m.
  • Reinraumklasse: ISO 3.
  • Durchsatz: abhängig von Konfiguration.

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Gemeinsam die passende Lösung definieren

Für den Einsatz des FlatStocker Automatisierungssystems und die Integration in bestehende Fab-Infrastrukturen stehen Ihnen unsere Automatisierungsexpert*innen für eine technische Beratung zur Verfügung. Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen und eine projektspezifische Integration in Ihr Fabriklayout.