RFID basierte Lösungen für Lagerung, Transport und Bestandsaufnahme

 

Load Port´s

Slim Laod Port

Diese RFID basierten Load Ports ermöglichen die manuelle Ein- und Ausgabe von 300mm FOUPs in bzw. aus einem automatischen Overhead Transportsystem.

Smart Load Port

Slim Load Port

RFID-Trolley

RFID Trolley für den Reinraum

Dieser Wagen kombiniert eine einfache, manuelle Transportlösung mit einer sicheren und schnellen Produktidentifikation.

RFID-Trolley

 

RFID-Regale (AWIC®, ARIC)

RFID Regal Lagerplatz mit Identifikation des Wafer Carriers im Reinraum

RFID-basierte Lagerplätze ermöglichen eine sichere und gezielte Ein- und Auslagerung von Produkten.

RFID-Regale

 

Conveyor

Richtungswechsel von auf Rollenförderer fahrenden 200mm-Wafer-Boxen über Drehteller

Mit RFID ausgerüstete Transportsysteme erlauben das Tracking der Materialträger durch die Produktion.

Conveyor-Transportsysteme

 

Zero-Footprint-Lager

Platzsparende LagerungErhalten Sie wertvolle Nutzungsfläche am Boden, indem Sie Wafer-Kassetten und FOUPs unter der Reinraumdecke lagern. Die Inventarisierung erfolgt durch RFID.

Lagersysteme