Überblick Handlingsysteme

Carrier Handling

Carriergreifer200

Carriergreifer

Carrier Handling an bestehenden Anlagen mit besonderen Einsatzbedingungen

Carriergreifer

LUNA

ACH - LUNA

Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen

ACH - LUNA

 

Wafer Handling

 

Reticle Handling

Reticle Greifer

Reticle Greifer

Greifer zum sicheren und zuverlässigen Handhaben einzelner Photomasken

Reticle Greifer

EUV-Reticle-Handling

EUV-Reticle-Handling

Handhabung in höchster Reinraumqualität für die EUV-Lithografie

EUV-Reticle-Handling

 

Mobile Roboter

HERO® FAB

Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

HERO® FAB

SCOUTtriax & SCOUTactive

SCOUT

Autonom navigierendes Fahrzeug als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen

SCOUT

 

Handling Tools

FOUPopener

FOUP Opener

Manuelles Instrument zum zweihändigen Öffnen von 300mm FOUPs

FOUP Opener