Überblick Handlingsysteme

Carrier Handling

LUNA

ACH - LUNA

Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen

ACH - LUNA

Carriergreifer200

Carriergreifer

Carrier Handling an bestehenden Anlagen mit besonderen Einsatzbedingungen

Carriergreifer

 

Wafer Handling

EASYload

EASYload

Be- und Entladesystem für 200mm Wafer Carrier und 300mm Wafer FOUPs

EASYload

 

Reticle Handling

EUV-Reticle-Handling

EUV-Reticle-Handling

Handhabung in höchster Reinraumqualität für die EUV-Lithografie

EUV-Reticle-Handling

Reticle Greifer

Reticle Greifer

Greifer zum sicheren und zuverlässigen Handhaben einzelner Photomasken

Reticle Greifer

 

Mobile Roboter

SCOUTtriax & SCOUTactive

SCOUT

Autonom navigierendes Fahrzeug als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen

SCOUT

HERO®FAB

Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

HERO®FAB

 

Handling Tools

FOUPopener

FOUP Opener

Manuelles Instrument zum zweihändigen Öffnen von 300mm FOUPs

FOUP Opener