Überblick Handlingsysteme

Carrier Handling

LUNA

ACH - LUNA

Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen

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Carriergreifer200

Carriergreifer

Carrier Handling an bestehenden Anlagen mit besonderen Einsatzbedingungen

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Wafer Handling

EASYload mit Wafern beim Beladen eines Carrier

EASYload

Be- und Entladesystem für 200mm Wafer Carrier und 300mm Wafer FOUPs

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Wafergreifer 450mm

Wafergreifer, 100 bis 450 mm

Greifarm zur Handhabung einzelner Wafer in verschiedenen Größen

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Reticle Handling

EUV-Reticle-Handling

EUV-Reticle-Handling

Handhabung in höchster Reinraumqualität für die EUV-Lithografie

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Reticle Greifer

Reticle Greifer

Greifer zum sicheren und zuverlässigen Handhaben einzelner Photomasken

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Mobile Roboter

SCOUTtriax & SCOUTactive

SCOUT

Autonom navigierendes Fahrzeug als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen

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Mobiler Roboter HERO FAB SMIF Pod

HERO®FAB

Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

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Handling Tools

FOUPopener

FOUP Opener

Manuelles Instrument zum zweihändigen Öffnen von 300mm FOUPs

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