Überblick Handlingsysteme

Carrier Handling

Carriergreifer200

Carriergreifer

Carrier Handling an bestehenden Anlagen mit besonderen Einsatzbedingungen

Carriergreifer

LUNA

ACH - LUNA

Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen

ACH - LUNA

 

Wafer Handling

 

Reticle Handling

Reticle Greifer

Reticle Greifer

Greifer zum sicheren und zuverlässigen Handhaben einzelner Photomasken

Reticle Greifer

EUV-Reticle-Handling

EUV-Reticle-Handling

Handhabung in höchster Reinraumqualität für die EUV-Lithografie

EUV-Reticle-Handling

 

Mobile Roboter

HERO® FAB

Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

HERO® FAB

SCOUTtriax & SCOUTactive

SCOUT

Autonom navigierendes Fahrzeug als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen

SCOUT

 

Handling Tools

FOUPopener

FOUP Opener

Manuelles Instrument zum zweihändigen Öffnen von 300mm FOUPs

FOUP Opener

EASYopen

EASYopen

Manuelles Instrument zum einhändigen Öffnen von 300mm FOUPs

EASYopen