![Active Mask Gripper in the Cleanroom Active Mask Gripper in the Cleanroom](https://www.fabmatics.com/files/2023/06/fabmatics-active-mask-gripper-cleanroom-300x242.jpg)
EUV-Reticle-Handling
Die Handlingsysteme für EUV-Reticle von Fabmatics erfüllen Anforderungen wie Zuverlässigkeit und Sauberkeit im EUV-Reticle-Handling.
Höchste Reinraumqualität
Die EUV-Technologie als spezielle Belichtungstechnologie zur Herstellung von Highend-Mikroelektronikbauelemente stellt höchste Anforderungen an die Zuverlässigkeit und Sauberkeit des Handlings von EUV-Reticle. Diesem Anspruch werden die Lösungen von Fabmatics gerecht. Handling-Systeme für EUV-Reticle sind sowohl als Standalone-Geräte, z. B. als Reticlesorter, als auch als Equipment-Front-Module, z. B. als Beladesystem, verfügbar. Ein Fabmatics-Loadport für RSP-Pods und Dual-Pods, verschiedenste Detektionsmodule, Greifer und Flipeinrichtungen sind dabei wesentliche Bestandteile.