Sichere FOUP-Übergabe mit automatischer Identifizierung

Das RFID basierte Smart Load Port (SLP) ist eine Station für die manuelle Ein- und Ausgabe von 300 bzw. 450 mm FOUPs in bzw. aus einem automatischen Overhead Transportsystem einer Halbleiterfabrik. Die integrierte RFID-Technologie stellt eine automatische Losidentifizierung bei jedem Be- und Entladen sicher. Durch die Verknüpfung mit dem MES wird die automatische Vorgabe und Zuführung zum nächsten Prozessschritt ermöglicht. Die Produktionslose können aber auch über einen nutzerfreundlichen GUI-Touchscreen manuell von einem Operator abgerufen bzw. verschickt werden.

Features:

  • Jedes Smart Load Port verfügt über zwei Plätze
  • Jeder Platz ist mit einem RFID Reader ausgestattet
  • Kommunikation zum MES über SOAP/XML
  • E84 Schnittstelle zum Transportsystem
  • GUI Touchscreen für manuelle Abrufe oder Transportaufträge