Sichere Übergabe von Materialträgern mit automatischer Identifizierung (RFID) und GUI

Der RFID basierte Smart Load Port (SLP) ist eine Station für die manuelle Ein- und Ausgabe von 300mm-FOUPs bzw. 200mm-SMIF Pods oder RSP Reticle Pods in bzw. aus einem automatischen Overhead Transportsystem (OHT) einer Halbleiterfabrik.

Dank der integrierten RFID-Technologie werden Produktionslose beim Be- und Entladen automatisch identifiziert. Die direkte Anbindung an das MES/MCS-System erlaubt die automatische Vorgabe und Zuführung zum nächsten Prozessschritt. Gleichzeitig können Operator über einen nutzerfreundlichen GUI-Touchscreen manuell auf Lose zugreifen, Transportaufträge auslösen und Rückmeldungen vom Host-System erhalten.

Dies ermöglicht eine sichere Übergabe, lückenlose Rückverfolgbarkeit und die nahtlose Einbindung in automatisierte Fab-Prozesse.

Key Features & Benefits:

Doppelport-Design
  • Jedes Smart Load Port verfügt über zwei Handlingplätze
RFID-Erkennung
  • Jeder Platz ist mit einem RFID Reader ausgestattet
GUI-Touchscreen
  • Für manuelle Abrufe und Kommunikation mit dem Host
Host-Schnittstelle
  • Kommunikation mit MES/MCS über SOAP/XML
SEMI E84-Schnittstelle
  • Für die Übergabe an OHT
Optionale zweite E84-Schnittstelle
  • Zur Anbindung von AGVs
Unterstützt verschiedene Materialträger
  • FOUP, FOSB, SMIF, RSP
Flexible Platzierung
  • Überall dort installierbar, wo OHT-Zugang besteht
Sichere Übergabe
  • Automatische Losverfolgung und Prozesszuweisung