Überblick Transportsysteme

Fahrerlose Transportsysteme (AGV)

HERO®FAB

Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

HERO®FAB

SCOUT®

Autonom navigierendes Fahrzeug als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen

SCOUT®

 

Schienengebundene Transportsysteme (RGV)

Automatisiertes Carrier Handling mit mobilem Roboter HERO

HERO®

Schienengebundenes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

HERO®

 

Manuelle Transportsysteme (PGV)

RFID-Trolley

Optimale Lösung für Bereiche, in denen ein automatischer Transport nicht möglich ist

RFID-Trolley

Smart Cart

Smart Cart

Akkubetriebener Reinraum-Transportwagen mit höchster Wendigkeit und Nutzlast

Smart Cart

 

Conveyor

 

Loadports

Smart Load Port

Smart Load Port

Input/Output Station mit zwei Plätzen und Operator GUI für den manuellen Zugriff

Smart Load Port

Slim Load Port

Input/Output Station für den manuellen Zugriff an jedem beliebigen Ort der Fabrik

Slim Load Port

Slim Purge Load Port

Slim Purge Load Port

Flexible Ein- und Ausgabestation für manuellen Zugriff mit Purge-Funktionalität

Slim Purge Load Port