Überblick Transportsysteme

Fahrerlose Transportsysteme (AGV)

Mobiler Roboter HERO FAB SMIF Pod

HERO®FAB

Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

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Mobiler Roboter SCOUT®active

SCOUT®

Autonom navigierender mobiler Roboter als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen

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Schienengebundene Transportsysteme (RGV)

Schienengebundener Roboter HERO Rail im Einsatz bei Infineon Dresden

HERO®Rail

Schienengebundenes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

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Manuelle Transportsysteme (PGV)

RFID Person Guided Vehicle

RFID-Trolley

Optimale Lösung für Bereiche, in denen ein automatischer Transport nicht möglich ist

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Smart Cart

Smart Cart

Akkubetriebener Reinraum-Transportwagen mit höchster Wendigkeit und Nutzlast

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Conveyor

Rollenförderer mit Dreh- und Liftelementen für den Wafertransport auf zwei Ebenen

Conveyor-Transportsystem

Automatisiertes Rollenförder-Transportsystem für Reinräume.

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Loadports

Smart Load Port

Smart Load Port

Input/Output Station mit zwei Plätzen und Operator GUI für den manuellen Zugriff

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Slim Loadport Fabmatics GmbH

Slim Load Port

Input/Output Station für den manuellen Zugriff an jedem beliebigen Ort der Fabrik

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Slim Purge Load Port

Slim Purge Load Port

Flexible Ein- und Ausgabestation für manuellen Zugriff mit Purge-Funktionalität

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