Herausforderung: Material effizient und kontrolliert im Reinraum bereitstellen
Halbleiterfabriken benötigen Material zur richtigen Zeit am richtigen Prozessschritt. Gleichzeitig müssen Wafer, Reticles und andere sensible Materialien unter Reinraumbedingungen sicher gelagert und mit möglichst wenig manuellem Handling bereitgestellt werden.
Der LinearStocker verbindet automatisierte Lagerung mit unterschiedlichen Möglichkeiten zur Materialübergabe. Damit kann das Lagersystem als dezentraler Materialpuffer zwischen Produktionsbereichen und Equipment eingesetzt werden. Zusätzlich sind Anwendungen für die Sequenzierung und Kommissionierung von Produktionslosen möglich.
Flexible Lagerautomatisierung für 200mm- und 300mm-Fabs
Der LinearStocker übernimmt die automatisierte Einlagerung- und Ausgabe von Wafer-Carriern, Reticle Pods, und kundenspezifischen Materialien unter Reinraumbedingungen.
Die reinraumoptimierte Konstruktion mit passivem Greifer, induktiver Energieübertragung an der x-Achse, sowie optional absaugbaren Achsen ermöglichen die Lagerung von Produkten in einer Reinraumumgebung bis zur ISO-Klasse 3.
Abhängig von Carrier-Typ und Anwendung sind einfach- oder doppeltiefe Lagerplätze möglich. Die Konfiguration kann an die erforderliche Lagerkapazität und den verfügbaren Bauraum angepasst werden.
Für die Materialübergabe stehen manuelle I/O-Ports sowie Anbindungen an OHT- und Conveyor-Systeme zur Verfügung. Auch eine Anbindung an Produktionsequipment ist möglich. Standardisierte Schnittstellen wie SEMI E88 und SEMI E84 unterstützen die Integration in die Fab-Automatisierung.
Die Lagerverwaltung mit SWarePro unterstützt die Erfassung und Dokumentation des Lagerbestands.
Funktionen und Eigenschaften des LinearStockers
Flexible Carrier-Unterstützung: Der LinearStocker kann für HA200, Open Cassettes, FOUP, FOSB, Reticle Pods und weitere kundenspezifische Carrier konfiguriert werden. Dadurch lässt sich das Lagersystem für unterschiedliche Materialien und Produktionsbereiche einsetzen.
Skalierbare Lagerkonfiguration: Abhängig vom Carrier-Typ sind einfach- oder doppeltiefe Lagerplätze möglich. Dadurch kann die verfügbare Stellfläche entsprechend der benötigten Lagerkapazität genutzt werden.
Flexible Materialübergabe: Manuelle I/O-Ports, OHT-I/O-Anbindungen und Conveyor-Erweiterungen ermöglichen die Einbindung in unterschiedliche Materialflusskonzepte. Auch die Anbindung an weitere Produktionseinrichtungen ist vorgesehen.
Reinraumgerechte Ausführung: Der LinearStocker ist für Reinraumumgebungen bis ISO-Klasse 3 konzipiert.
Lagerverwaltung mit SWarePro: Das Lagerverwaltungssystem unterstützt die Erfassung und Dokumentation von Lagerbeständen über Statistik- und Inventurfunktionen.
Standardisierte Automatisierungsschnittstellen: SEMI-E88 MCS und SEMI-E84 Transfer unterstützen die Integration des LinearStockers in die Automatisierungsumgebung der Halbleiterfabrik.
Vorteile für Halbleiterfabriken
Hohe Lagerdichte:
Einfach- und doppeltiefe Lagerkonfigurationen ermöglichen eine hohe Anzahl an Lagerplätzen auf kompakter Stellfläche.
Weniger manuelles Handling:
Die automatisierte Einlagerung und Ausgabe reduziert manuelle Materialbewegungen.
Flexible Integration:
Manuelle Ports sowie OHT-, Conveyor- und Equipment-Anbindungen ermöglichen die Anpassung an unterschiedliche Automatisierungskonzepte.
Unterstützung unterschiedlicher Carrier:
Eine Plattform kann entsprechend der jeweiligen Anwendung für verschiedene Carrier- und Materialtypen konfiguriert werden.
Lagerung unter Reinraumbedingungen:
Konfigurationen für Reinraumumgebungen bis ISO-Klasse 3 unterstützen den Einsatz in sensiblen Bereichen der Halbleiterfertigung.
Transparenter Lagerbestand:
SWarePro unterstützt die Erfassung und Dokumentation des aktuellen Lagerbestands.
Anwendungsbereiche des LinearStockers
Dezentrale Zwischenlagerung:
Carrier und andere Materialien werden zwischen Produktionsschritten automatisiert gelagert und bedarfsgerecht bereitgestellt.
Sequenzierung von Produktionslosen:
Der LinearStocker kann zur Sequenzierung von Produktionslosen innerhalb automatisierter Materialflüsse eingesetzt werden.
Reticle-Lagerung:
Eine spezielle Konfiguration ermöglicht die automatisierte Ein- und Auslagerung unterschiedlicher Reticle Pods (Canon 6 inch, Nikon 6 inch, MRSP 150 mm und RSP 150 mm).
Integration in automatisierte Materialflüsse:
OHT-, Conveyor- und Equipment-Anbindungen ermöglichen die Verbindung des LinearStockers mit weiteren Automatisierungskomponenten.
Downloads:
LinearStocker Reticle Datenblatt *
[* SCI ist jetzt Fabmatics. Diese Produktunterlagen wurden vor der Integration der Geschäftsaktivitäten der SCI in Fabmatics erstellt und können daher noch das bisherige SCI-Design enthalten. Ein Update erfolgt in Kürze.]
