Überblick Lagersysteme

Stocker-Lagersysteme

FlatStocker Installation mit Boxen

FlatStocker

Platzsparende Lagerung unterschiedlicher Produktträger unterhalb der Reinraumdecke

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Zero Footprint Storage

ZFS (Conveyor)

Platzsparende Lagerung unterhalb der Reinraumdecke mittels Zero Footprint Storage

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Regalsysteme

RFID-Regal für die Halbleiterindustrie zur Lagerung von Transportkisten.

RFID-Regal

Produkte werden beim Abstellen automatisch identifiziert und nachvollziehbar eingelagert

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Purge Systeme

ZFS Advanced Purge Nest Unit (APNU) für Spectra / A300 FOUP.

FOUP Purge System

Nachrüstbares Purge System schützt die Wafer zwischen den Produktionsschritten

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