Zuverlässiger Schutz für Wafer. Langfristige Sicherung der Ausbeute.
Moderne Halbleiterprozesse reagieren empfindlicher denn je auf Umwelteinflüsse. Während Wafer zwischen den Prozessschritten in FOUPs oder Pods lagern, kann bereits eine kurze Einwirkung von Feuchtigkeit, Sauerstoff oder chemischen Molekülen zu Oxidation, Oberflächenbeschädigungen und Ausbeuteverlusten führen.
Unsere Purge-Lösungen schaffen eine kontrollierte, stabile Atmosphäre für Ihre Zwischenlagerungs- und Transportprozesse und schützen so aktiv den Wert jedes einzelnen Wafers.
Im Fokus: maximale Prozesssicherheit, maximale Ausbeute und lückenlose Rückverfolgbarkeit.
Wafer Pod Purge System
Unsere nachrüstbaren Wafer Pod Purge Systeme schaffen eine kontrollierte Umgebung im Pod und schützen Wafer effektiv vor Kontamination und unerwünschten Reaktionen. Optimiert für die Integration, bspw in bestehende FOUP‑Lagerplätze, ZFS und Stocker – flexibel, effizient und prozesssicher.