Platzsparende Lagerung unter der Reinraumdecke

Der FlatStocker ist die ideale Lösung zur platzsparenden Lagerung von Waferkassetten, FOUPs und anderen Produktträgern. Das automatische Lagersystem hängt unterhalb der Reinraumdecke und beansprucht somit nicht die wertvolle Fläche am Reinraumboden. Der FlatStocker stellt Carrier ID Informationen durch Nutzung von RFID Technologie zum MCS (Material Control System) in Echtzeit bereit.

Verbunden mit einem Transportsystem und vertikalen Liften ermöglicht das System ein schnelles Einlagern oder Zugreifen auf Lose.

Das einfache Design bietet größte Flexibilität für effiziente Anpassungen auf Kundenwunsch.

Features:

  • Lagerung von Waferkassetten und anderen Produktträgern unterhalb der Reinraumdecke
  • RFID-Technologie ermöglicht die Standortermittlung der Lose in Echtzeit
  • SEMI E84 Interface Steuerungssoftware
  • Flexible Anpassung der Konstruktion nach Kundenwunsch mit maximaler Länge von 14m