Platzsparende Lagerung unter der Reinraumdecke

Der FlatStocker ist die ideale Lösung zur platzsparenden Lagerung von Produktträgern, wie z.B. Waferkassetten und H200 Boxen. Das automatische Lagersystem hängt unterhalb der Reinraumdecke und beansprucht somit nicht die wertvolle Fläche am Reinraumboden. Der FlatStocker stellt Carrier ID Informationen durch Nutzung von RFID- oder auch Barcode-Technologie zum MCS (Material Control System) in Echtzeit bereit.

Verbunden mit einem Transportsystem und vertikalen Liften ermöglicht das System ein schnelles Einlagern oder Zugreifen auf Lose.

Das einfache Design bietet größte Flexibilität für effiziente Anpassungen auf Kundenwunsch.

Features:

  • Lagerung von Produktträgern, wie z.B. Waferkassetten, H200 Boxen unterhalb der Reinraumdecke
  • RFID- oder auch Barcode-Technologie ermöglicht die Standortermittlung der Lose in Echtzeit
  • SECS GEM / SEMI E88 / SEMI E84 Interface Steuerungssoftware
  • Flexible Anpassung der Konstruktion nach Kundenwunsch
  • Bis ISO 3 / US FED Klasse 1
  • Transportgeschwindigkeit 1,5 m/s in Reinräumen nach ISO 4