HERO®Rail
Dieses schienengebundene Robotersystem von Fabmatics ist in der Lage, Prozessanlagen zu be- und entladen sowie Carrier zügig zwischen Prozessanlage und Transportsystem im Reinraum zu transportieren.
Help Robot im Reinraum
Der HERO®Rail vereint ein neues Robotersystem mit einer neuartigen Fahreinheit. Seine Aufgaben sind das vollautomatische Be- und Entladen von Prozesstools sowie der schnelle Transport zwischen Prozesstools und Transportsystem im Reinraum. Das besondere Augenmerk und auch die Herausforderung liegen dabei auf der interaktiven Kooperation zwischen Mensch und Maschine – Operator und Roboter.
Zuverlässig und robust verrichtet der HERO®Rail 24 Stunden am Tag, 7 Tage in der Woche seinen Dienst in den Reinräumen von Halbleiterfabriken weltweit. Als integraler Teil eines Gesamtsystems für den vollautomatischen Produktionsdurchlauf der Wafer sorgt er für Durchlaufzeiteinsparungen und höhere Anlagenauslastung.
Spezifikation
| Größe: | 850 x 600 x 2.350 mm |
| Gewicht: | 230 kg |
| Arbeitshöhe: | 900 – 1.200 mm |
| Arbeitsbereich: | flexibel gestaltbar |
