HERO Rail – Schienengeführter Reinraumroboter für die Halbleiterfertigung
Der HERO Rail ist ein schienengeführtes Robotersystem (RGV) von Fabmatics für Reinräume der Halbleiterindustrie. Er übernimmt das vollautomatische Be‑ und Entladen von Prozessanlagen und sorgt für den schnellen, sicheren Transport von Carriern zwischen Prozesstools und Transportsystemen – zuverlässig im 24/7‑Betrieb.
Automatisierte Prozesse im Reinraum
Der HERO Rail wurde speziell für hochreine Produktionsumgebungen entwickelt. Er be‑ und entlädt Prozesstools vollautomatisch und transportiert Carrier effizient innerhalb der Fertigungslinie. Dadurch reduziert er manuelle Eingriffe und erhöht die Prozesssicherheit im Reinraum.
HElp RObot – Sichere Mensch-Maschine-Kooperation
Der HERO Rail vereint ein neues Robotersystem mit einer neuartigen schienengeführten Fahreinheit.
Ein zentrales Entwicklungsziel war die sichere und intuitive Zusammenarbeit zwischen Mensch und Maschine: Operators und Roboter agieren koordiniert im gemeinsamen Arbeitsumfeld – ergonomisch, sicher und effizient.
Zuverlässiger 24/7‑Betrieb in Halbleiterfabriken
Weltweit ist der HERO Rail als integraler Bestandteil automatisierter Materialflusssysteme im Einsatz. Dank robuster Auslegung arbeitet er 24 Stunden am Tag, 7 Tage die Woche und trägt maßgeblich zu:
- kürzeren Durchlaufzeiten
- höherer Anlagenauslastung
- stabilen, reproduzierbaren Produktionsprozessen
bei.
Technische Spezifikationen
| Größe: | 850 x 600 x 2.350 mm |
| Gewicht: | 230 kg |
| Arbeitshöhe: | 900 – 1.200 mm |
| Arbeitsbereich: | flexibel gestaltbar |
