Purge-Lösung für zuverlässigen Schutz von Wafern und langfristiger Sicherung der Fab-Ausbeute.
Moderne Halbleiterprozesse reagieren empfindlicher denn je auf Umwelteinflüsse. Während Wafer zwischen den Prozessschritten in FOUPs oder Pods lagern, kann bereits eine kurze Einwirkung von Feuchtigkeit, Sauerstoff oder chemischen Molekülen zu Oxidation, Oberflächenbeschädigungen und Ausbeuteverlusten führen.
Purge Spülsysteme – Mit Stickstoff zu höherer Ausbeute
Unsere Purge-Systeme schaffen eine kontrollierte, stabile Atmosphäre für Ihre Zwischenlagerungs- und Transportprozesse und schützen so aktiv den Wert jedes einzelnen Wafers.
Im Fokus: maximale Prozesssicherheit, maximale Ausbeute und lückenlose Rückverfolgbarkeit.
Wafer Pod Purge System
Unsere nachrüstbaren Wafer Pod Purge Systeme schaffen eine kontrollierte Umgebung im Pod und schützen Wafer effektiv vor Kontamination und unerwünschten Reaktionen.
Optimiert für die Integration, bspw in bestehende Wafer‑Lagerplätze wie Stocker, DieBanks, Schränke, Regale, Trolleys, OHB-Systeme, Qualifizierungsplätze etc. – flexibel, effizient und prozesssicher.