EASYload / EASYload300-200
Fabmatics EASYload System bietet eine komfortable und einfache Lösung zur automatischen Be- und Entladung von 200mm und 300mm FOUPs.
Automatische FOUP Beladung
Das Gerät für müheloses Be- und Entladen von 300mm Wafer FOUPs heißt EASYload. Vereinfachen Sie diverse Support-Aufgaben für die 300mm Wafer Technologie.
Mit dem EASYload300-200 besteht außerdem die Möglichkeit, gleichzeitig 200mm Wafer-Carrier und 300mm Wafer FOUPs zu be- und entladen.
Spezifikation:
| Größe: | 930 x 500 x 1.210 mm |
| Gewicht: | ca. 100 kg |
| Reinraumklasse: | ISO 3 (optional bis zu ISO 1) |
| Hub: | 360 mm |
| FOUP Lift: | 6 mm |
| Bedienung: | halbautomatisch |
