Automatischer Wafer Transfer

EASYload wurde für den mühelosen automatisierten Transfer von Wafern zwischen zwei Behältern entwickelt, um damit zeitraubende manuelle Handgriffe zu elminieren.

Folgende Umladeprozesse sind mit dem EASYload umsetzbar:

  • 200mm Wafer zwischen zwei offenen 200mm Wafercarriern
  • 300mm Wafer zwischen zwei FOUPs
  • 200mm Wafer von offenem 200mm Wafercarrier auf 300mm FOUP mit passendem Einsatz und umgekehrt

Spezifikation:

Größe:930 x 500 x 1.210 mm
Gewicht:ca. 100 kg
Reinraumklasse:ISO 3
Hub:360 mm
FOUP Lift:6 mm
Bedienung:halbautomatisch