EASYload / EASYload300-200
Fabmatics EASYload System bietet eine komfortable, einfache und sichere Lösung zur automatischen Umbeladung von 25 Wafern zwischen zwei Waferbehältern.
Automatischer Wafer Transfer
EASYload wurde für den mühelosen automatisierten Transfer von Wafern zwischen zwei Behältern entwickelt, um damit zeitraubende manuelle Handgriffe zu elminieren.
Folgende Umladeprozesse sind mit dem EASYload umsetzbar:
- 200mm Wafer zwischen zwei offenen 200mm Wafercarriern
- 300mm Wafer zwischen zwei FOUPs
- 200mm Wafer von offenem 200mm Wafercarrier auf 300mm FOUP mit passendem Einsatz und umgekehrt
Spezifikation:
| Größe: | 930 x 500 x 1.210 mm |
| Gewicht: | ca. 100 kg |
| Reinraumklasse: | ISO 3 (optional bis zu ISO 1) |
| Hub: | 360 mm |
| FOUP Lift: | 6 mm |
| Bedienung: | halbautomatisch |
