Slim Load Port

Flexibler Platzsparer für den manuellen Zugriff

In hochautomatisierten Chipfabriken ist der manuelle Zugriff auf Produktionslose häufig mit langen Wartezeiten verbunden, da Waferkassetten zunächst aus entfernten Stockern am Rande der Produktion angefordert werden müssen.

Der Slim Load Port schafft hier Abhilfe, indem er genau dort einen manuellen Zugriff auf die Waferkassetten ermöglicht, wo der Operator sie für seine Arbeit benötigt – flexibel und bedarfsgerecht.

Ob für kurzfristige Tests, Messungen oder bei Störungen im Overhead Transport System (OHT): Slim Load Ports lassen sich flexibel an jedem Punkt in der Fab platzieren. Sie können temporär eingesetzt oder präventiv entlang der Produktionslinien installiert werden, um eine durchgängige manuelle OHT-Ein- und Ausgabe sicherzustellen. Auch Tool-Simulationen im OHT-Workflow sind möglich.

Key Features & Benefits:

Schlankes Design & Geringes Gewicht

• Schnelle und einfache Installation – minimaler Einrichtungsaufwand
• Leicht umzuziehen – maximale Flexibilität bei der Platzierung
• Geringer Platzbedarf – ideal für beengte Fab-Layouts

SEMI-Standard Konform, Flexibel & Sicher

• Mit jedem Overhead Transport System (OHT) einsetzbar
• Einhaltung des FOUP-Abstandes nach SEMI Standard (505mm) bei Aneinanderreihung der Load Ports „Kante an Kante“
• Unterstützt verschiedene Pod-Typen: FOUP, FOSB, SMIF, RSP150
• Optional: Zentriereinheiten und Sensorik für Probecard-Handling
• Zusätzliche Platzierungskontrolle durch Lichtschranke
• Unterstützung von Tool-Simulationen im OHT

 Schnittstellen & Konnektivität