
Automatisierung für 150- und 200-mm Legacy Fabs
Fabmatics ist Ihr ganzheitlicher Partner für die Automatisierung von Legacy Fabs.
Mit jahrzehntelanger Erfahrung und einem umfassenden Lösungsportfolio unterstützen wir Halbleiterhersteller weltweit dabei,
ihre 150-mm- und 200-mm-Fabriken effizient, wirtschaftlich und zukunftssicher zu modernisieren.
Von der Legacy Fab zum Wettbewerbsvorteil – Warum die "Golden Fabs" heute wichtiger sind denn je
200- und 150 mm-Fabs sind alles andere als veraltet. Sie haben sich über viele Jahre bewährt, arbeiten stabil und lassen sich flexibel an neue Anforderungen anpassen. Zahlreiche Schlüsselanwendungen – von Analog- und Leistungshalbleitern über MEMS bis hin zu Automotive-Chips – basieren auch heute auf ausgereiften Fertigungstechnologien und werden weiterhin in Bestandsfabriken produziert.
Verändert haben sich jedoch die Rahmenbedingungen: steigende Personalkosten, der Mangel an qualifizierten Fachkräften und der wachsende Druck, Produktionsprozesse flexibler und effizienter zu gestalten. Viele Betreiber suchen daher nach Wegen, ihre bestehenden Fabriken effizienter und wirtschaftlicher zu betreiben.
Wettbewerbsfähig bleiben – mit intelligenter Automatisierung
Automatisierung bietet einen risikoarmen und wirtschaftlichen Weg, um bestehende Fabriken fit für die Zukunft zu machen, die Kosten pro Wafer zu senken und langfristig wettbewerbsfähig zu bleiben, ohne in einen kostspieliges Greenfield-Projekt investieren zu müssen.
Lebensdauer verlängern
Betriebskosten senken
Kosten pro Wafer reduzieren und schnelle Amortisation erzielen
Prozesssicherheit und Produktqualität steigern
Nahtlose Integration in bestehende Prozesse
Wettbewerbsvorteile sichern
Ihre Herausforderungen sind unser Tagesgeschäft
Intelligente AMHS-Lösungen für Legacy Fabs
Keine Legacy Fab gleicht der anderen. Anlagenpark, Fabriklayout, IT-Landschaft und Produktionsanforderungen sind über Jahre gewachsen und stellen individuelle Anforderungen an die Automatisierung.
Deshalb setzt erfolgreiche Automatisierung nicht auf Standardlösungen, sondern auf ein maßgeschneidertes Konzept. Entscheidend ist, dass jede Maßnahme einen messbaren Mehrwert schafft und zugleich Teil einer langfristigen Strategie ist. Von den ersten Automatisierungsschritten bis hin zu einem durchgängigen Materialfluss entsteht so ein zukunftssicheres Gesamtkonzept, das Produktivität, Flexibilität und Wirtschaftlichkeit nachhaltig steigert.
Fabmatics verfügt über langjährige Erfahrung bei der Umsetzung von AMHS-Lösungen in bestehenden Fertigungsumgebungen – auch während des laufenden Produktionsbetriebs. Gemeinsam mit Ihnen entwickeln wir eine individuelle Automatisierungsstrategie und leiten daraus eine wirtschaftlich sinnvolle Roadmap ab. Dabei stehen schnelle Erfolge, ein nachvollziehbarer Return on Investment und die nachhaltige Senkung der Kosten pro Wafer stets im Fokus.
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Herausforderung trifft Lösung
Jede Legacy Fab stellt ihre Betreiber vor spezifische Herausforderungen.
Dennoch begegnen uns in unseren Projekten weltweit immer wieder ähnliche Themen.
Typische Herausforderungen in Legacy Fabs
Viele sogenannte "Golden Fabs" verfügen nur über begrenzte digitale Voraussetzungen für Automatisierungsprojekte.
Fabmatics unterstützt Sie mit Vor-Ort-Analysen, Fab Assessments und Machbarkeitsstudien. Unsere Lösungen für RFID-basierte Materialidentifikation und Tracking schaffen die Grundlage für skalierbare Automatisierung und papierlose Fertigungsprozesse.
Viele Fabriken verfügen weder über ausreichende Kapazitäten noch über das notwendige Spezialwissen, um Automatisierungsinitiativen eigenständig umzusetzen.
Als Full-Service-Partner begleiten wir Ihr Projekt von der Analyse über die Umsetzung bis zum Service und entlasten Ihr Team nachhaltig.
Historisch gewachsene Fabriklayouts stellen häufig eine Herausforderung dar.
Unsere modularen Systeme, darunter deckengeführte Stocker, grauraumtaugliche Lagerlösungen, Conveyorsysteme und mobile Roboter, wurden speziell für begrenzte Platzverhältnisse entwickelt. So lässt sich der Automatisierungsgrad erhöhen, ohne wertvolle Produktionsfläche zu verlieren oder umfangreiche Umbauten durchführen zu müssen.
Keine Legacy Fab gleicht der anderen, das gilt insbesondere für die Maschinen und Anlagen.
Fabmatics entwickelt individuelle Lösungen für komplexe Prozessanlagen. Von Robotikzellen bis hin zu intelligenten Materialflusssystemen integrieren wir unsere Lösungen nahtlos in bestehende Produktionsumgebungen.
Investitionen müssen nachvollziehbar begründet werden.
Deshalb erstellen wir ROI-Berechnungen auf Basis Ihrer realen Produktionsdaten, beispielsweise Waferbewegungen, Fehlerraten oder Schichtmodelle. Ergänzt durch Simulationen und Proof-of-Concept-Projekte schaffen wir eine belastbare Entscheidungsgrundlage.
Viele Legacy-Fabs arbeiten mit historisch gewachsenen IT-Strukturen und isolierten Softwarelösungen.
Fabmatics bietet eine flexible Softwareplattform, die sich nahtlos in bestehende MES-Systeme und Anlageninterfaces wie SECS/GEM oder HSMS integriert.
So entstehen durchgängige Datenflüsse, zentrale Steuerungsmöglichkeiten und eine zukunftssichere Skalierbarkeit.
Unser Portfolio
Fabmatics zählt zu den führenden Systemintegratoren der Halbleiterindustrie.
Wir übernehmen die Gesamtverantwortung für Ihr Projekt – von der ersten Idee bis zum stabilen Betrieb.
IDENTIFICATION
RFID-SYSTEME
RFID NACHRÜSTUNG
FAB RTLS
TRANSPORT
CONVEYOR
AGVs / RGVs /PGVs
LIFTE
HANDLING
MOBILE ROBOTER
ROBOTERZELLEN
EFEMs
LAGERUNG
STOCKERS
RFID REGALE
TEST WAFER CENTER
MATERIALSCHUTZ
PURGE-SYSTEM
INTEGRIERTE AUTOMATISIERUNGSLÖSUNGEN
FÜR EFFIZIENTE MATERIALFLÜSSE
BERATUNG
FAB-Analyse
FAB-STUDIEN
FAB OPTIMIERUNG
MODELLIERUNG
ANALYTIK
SIMULATION
DIGITALER ZWILLING
SOFTWARE
SYSTEMINTEGRATION
FLOTTENMANAGER
GUI-ENTWICKLUNG
SERVICE
TECHNISCHER SERVICE
THIRD-PARTY SUPPORT
Automatisierung, die sich an Ihre Fab anpasst.
Unsere Lösungen sind praxiserprobt und darauf ausgelegt, sich an die Gegebenheiten Ihrer Fabrik anzupassen – nicht umgekehrt.

Automatisierung beginnt mit Transparenz
Viele Legacy Fabs verfügen nicht über die digitale Grundlage für eine umfassende Automatisierung. Mit Fab Assessments, Machbarkeitsstudien, Automation System Modeling sowie RFID-basierter Identifikation und Tracking entwickeln wir eine klare Roadmap für die nächsten Schritte.

Automatisierung ohne zusätzliche Belastung Ihrer Teams
Viele Fabriken verfügen nicht über die Ressourcen, um Automatisierungsprojekte eigenständig voranzutreiben. Fabmatics begleitet Sie von der ersten Analyse bis zur Inbetriebnahme und übernimmt Planung, Integration und Umsetzung, damit sich Ihr Team auf das Kerngeschäft konzentrieren kann.

Platzsparende Lösungen für komplexe Fabriklayouts
Historisch gewachsene Fabriken bieten oft nur begrenzten Raum für neue Automatisierungstechnik. Unsere modularen Systeme wie deckengestützte oder Grauraum-kompatible Lagerlösungen, Conveyor-Syteme und mobile Roboter wurden speziell für räumlich anspruchsvolle Produktionsumgebungen entwickelt.

Automatisierung, wo Standardlösungen an ihre Grenzen stoßen
Keine Legacy Fab gleicht der anderen. Über Jahre gewachsene Anlagenparks, Sondermaschinen und unterschiedliche Tool-Generationen erfordern individuelle Lösungen. Fabmatics entwickelt passgenaue Automatisierungskonzepte und integriert diese nahtlos in bestehende Produktions- und Materialflussprozesse.

Wirtschaftlichkeit von Anfang an im Blick
Mit Automation System Modeling simulieren wir Automatisierungsszenarien auf Basis realer Fab-Daten. So identifizieren wir die wirtschaftlich sinnvollsten Maßnahmen, minimieren Risiken und schaffen eine fundierte Grundlage für Investitionsentscheidungen.

Nahtlose Integration in bestehende IT-Landschaften
Gewachsene IT-Strukturen und unterschiedliche Softwaregenerationen machen viele Legacy Fabs komplex. Unser Software Framework verbindet MES, Anlagen und Automatisierungssysteme zu einer durchgängigen Plattform für Datenaustausch, Steuerung und zukünftige Erweiterungen.
FAQ – Technische Einblicke in die Automatisierung von Legacy Fabs
Ja. Fabmatics ist auf die nachträgliche Integration von Automatisierungslösungen in laufende Produktionsumgebungen spezialisiert – oder, wie wir es nennen: „Operationen am offenen Herzen“. Unsere modularen Lösungen und schrittweisen Implementierungsstrategien ermöglichen Modernisierungen mit minimalen Betriebsunterbrechungen, selbst bei begrenzter Deckenhöhe, engen Gängen und einer Mischung aus Anlagen verschiedener Generationen.
Typische Einstiegspunkte für die Automatisierung sind:
- Lot-Identifikation und Materialverfolgung mittels RFID
- Intra-Bay- und Inter-Bay-Transport mit Fahrerlosen Transportsystemen (AGVs) oder Conveyor-Lösungen
- Be- und Entladung von Prozessanlagen durch Roboterzellen, Cobots oder Load Ports
- Optimierung von Lagerprozessen mit boden- oder deckenmontierten Stockern
- Management von Testwafern, einschließlich Kitting, Dekitting und Lagerung
Diese Bereiche bieten häufig ein hohes Automatisierungspotenzial bei vergleichsweise überschaubarem Implementierungsaufwand und ermöglichen erste messbare Verbesserungen bei Effizienz, Transparenz und Materialfluss.
Als Faustregel gilt, dass sich die Durchlaufzeit durch Automatisierung um 10 bis 30 % verkürzen lässt, wobei durch eine optimierte Planung eine weitere Verbesserung um 5 bis 10 % erzielt werden kann. Der "WIP-Turn" steigt von 3 bis 4 (manuelle Fertigungsanlagen) auf 5 bis 6 mit AMHS.
Bei der Planung und Umsetzung von Automatisierungsprojekten in bestehenden 150 oder 200-mm-Fabs spielen insbesondere folgende Faktoren eine wichtige Rolle:
- Deckenhöhe und Tragfähigkeit der Gebäudestruktur, insbesondere für deckengeführte Transportsysteme oder Stocker
- Bodenbeschaffenheit und Layout der Fab, beispielsweise die Qualität des Doppelbodens sowie verfügbare Verkehrs- und Installationsflächen
- Verwendete Carrier-Typen wie Open Cassettes, SMIF Pods etc.
- Automatisierungsgrad und Schnittstellen der bestehenden Anlagen, etwa die Verfügbarkeit von Load Ports oder standardisierten Equipment-Interfaces
- Kompatibilität mit der vorhandenen MES- und CIM-Infrastruktur, um eine nahtlose Integration neuer Automatisierungslösungen sicherzustellen
Diese technischen Rahmenbedingungen sollten frühzeitig analysiert werden, da sie maßgeblich beeinflussen, welche Automatisierungskonzepte technisch umsetzbar und wirtschaftlich sinnvoll sind.
Das ROI-Potenzial hängt von Faktoren wie Fabriklayout, Materialfluss, Automatisierungsgrad und Produktionsvolumen ab. Mit unserem Automation System Modeling -Ansatz analysieren wir Ihre Fab auf Basis realer Produktionsdaten und simulieren verschiedene Automatisierungsszenarien, noch bevor Investitionen getätigt werden.
So machen wir den Einfluss geplanter Maßnahmen auf Kennzahlen wie Waferkosten, Durchlaufzeiten, Produktivität und Ressourcenauslastung transparent. Das Ergebnis ist eine belastbare ROI-Prognose, die Ihnen hilft, Investitionen gezielt dort zu platzieren, wo der größte wirtschaftliche Nutzen erzielt werden kann.
Ja. Automatisierung reduziert den Bedarf an manuellen Tätigkeiten wie Materialverfolgung, Wafertransport oder Anlagenbeladung und entlastet Mitarbeitende bei zeitaufwendigen Routineaufgaben. Dadurch können vorhandene Fachkräfte gezielter für wertschöpfende Aufgaben eingesetzt werden.
Gleichzeitig verringern automatisierte Prozesse die Fehleranfälligkeit, erhöhen die Prozessstabilität und ermöglichen einen zuverlässigen 24/7-Betrieb. Ein weiterer Vorteil: Wertvolles Prozesswissen wird in digitalen Systemen und standardisierten Abläufen verankert und bleibt so langfristig im Unternehmen erhalten – unabhängig von einzelnen Mitarbeitenden.
Kurz gesagt: Automatisierung ersetzt Fachkräfte nicht, sondern hilft dabei, deren Know-how effizienter einzusetzen und dem zunehmenden Fachkräftemangel wirksam entgegenzuwirken.
Die Projektdauer hängt vom Umfang der Automatisierung, der Komplexität der Fab und den definierten Projektzielen ab. Bewährt hat sich ein schrittweises Vorgehen, bei dem zunächst besonders wirkungsvolle Bereiche automatisiert werden, um schnell messbare Ergebnisse zu erzielen.
Fabmatics begleitet Sie entlang des gesamten Prozesses – von der Fab-Analyse und Machbarkeitsstudie über Simulation und ROI-Bewertung bis hin zur Implementierung und Inbetriebnahme. So entsteht eine Automatisierungsstrategie, die sich an Ihren Anforderungen orientiert und sich effizient in den laufenden Fertigungsbetrieb integrieren lässt.
Kurz gesagt: Statt eines großen Umbaus auf einmal setzen wir auf eine wirtschaftlich sinnvolle, schrittweise Automatisierung mit schnellen Erfolgen und klar kalkulierbaren Ausbaustufen.
Kontaktieren Sie unsere Experten
Lassen Sie uns gemeinsam Ihren Business Case für Automatisierung erarbeiten.
Fabmatics unterstützt Sie von der Simulation bis zur Systemeinführung.

Rico Thieme
Director Sales and Business Development (Europe)
Fabmatics GmbH
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Von RFID zur vollautomatisierten Fab
Der Weg zur automatisierten Fab beginnt nicht mit komplexen Transportsystemen oder Robotik, sondern mit Transparenz. RFID-basierte Identifikationslösungen von Fabmatics schaffen die digitale Grundlage für durchgängige Materialverfolgung, effiziente Prozesse und eine schrittweise, skalierbare Automatisierung Ihrer Fab.
