Roboter im Reinraum
Mit unseren Systemen zur Handhabung von Wafern, Masken und Carriern in der Halbleiterindustrie sowie von Substraten in der Mikro- und Nanoelektronik auf Roboterbasis machen wir ein manuelles Eingreifen überflüssig.
Überblick Handlingsysteme
Carrier Handling
![LUNA LUNA - Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen](https://www.fabmatics.com/files/2016/10/hap-BV-bei-Beladung-300x200.jpg)
ACH - LUNA - Roboterzelle
Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen
![Carriergreifer200 Carriergreifer200](https://www.fabmatics.com/files/2016/10/hap-Carriergreifer200-300x206.jpg)
Carriergreifer
Carrier Handling an bestehenden Anlagen mit besonderen Einsatzbedingungen
Wafer Handling
![EASYload mit Wafern beim Beladen eines Carrier EASYload mit Wafern beim Beladen eines Carrier](https://www.fabmatics.com/files/2020/01/easyload-handling-200mm-wafer-carrier-detailshot-300x225.jpg)
![Test Wafer Center im Reinraum Test Wafer Center im Reinraum](https://www.fabmatics.com/files/2024/07/test-wafer-center-fabmatics-249x300.jpg)
![Wafergreifer 450mm Wafergreifer 450mm](https://www.fabmatics.com/files/2016/10/hap-450mmWafergreifer-300x207.jpg)
Wafergreifer, 100 bis 450 mm
Greifarm zur Handhabung einzelner Wafer in verschiedenen Größen
Reticle Handling
![Active Mask Gripper in the Cleanroom Active Mask Gripper in the Cleanroom](https://www.fabmatics.com/files/2023/06/fabmatics-active-mask-gripper-cleanroom-300x242.jpg)
EUV-Reticle-Handling
Handhabung in höchster Reinraumqualität für die EUV-Lithografie
![Reticle Greifer Reticle Greifer](https://www.fabmatics.com/files/2016/10/PICT4470web-235x300.jpg)
Reticle Greifer
Greifer zum sicheren und zuverlässigen Handhaben einzelner Photomasken
Mobile Roboter
![Mobiler Roboter HERO FAB 200 SMIF Pod Mobiler Roboter im Reinraum: Der HERO ® FAB 200 für SMIF-Pods mit vier Pufferelementen](https://www.fabmatics.com/files/2022/08/mobile-robot-hero-fab-smif-pods-225x300.jpg)
![hero-scout-fabmatics-cropped HERO Scout Reticle Transport and Handling](https://www.fabmatics.com/files/2024/06/hero-scout-fabmatics-cropped-109x300.png)
HERO Scout
Mobiler Roboter zum flexiblen und sicheren Transport und Handling von Reticle Pods
Handling Tools
![FOUPopener FOUPopener](https://www.fabmatics.com/files/2016/10/FOUPopener11-300x225.jpg)