Roboter im Reinraum
Mit unseren Systemen zur Handhabung von Wafern, Masken und Carriern in der Halbleiterindustrie sowie von Substraten in der Mikro- und Nanoelektronik auf Roboterbasis machen wir ein manuelles Eingreifen überflüssig.
Überblick Handlingsysteme
Carrier Handling

ACH - LUNA - Roboterzelle
Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen

Carriergreifer
Carrier Handling an bestehenden Anlagen mit besonderen Einsatzbedingungen
Wafer Handling


Wafergreifer, 100 bis 450 mm
Greifarm zur Handhabung einzelner Wafer in verschiedenen Größen
Reticle Handling

EUV-Reticle-Handling
Handhabung in höchster Reinraumqualität für die EUV-Lithografie

Reticle Greifer
Greifer zum sicheren und zuverlässigen Handhaben einzelner Photomasken
Mobile Roboter


HERO Scout
Mobiler Roboter zum flexiblen und sicheren Transport und Handling von Reticle Pods
Handling Tools
