Intelligente Lagersysteme für eine platzsparende Aufbewahrung
Die automatisierten Reinraum-Lagersysteme von Fabmatics sind optimal auf eine schnelle, sichere und platzsparende Lagerung und Pufferung von verschiedenen Produktträgern ausgerichtet. Aber auch bei den manuell zu bedienenden Lagerlösungen bleibt jedes einzelne Teil dank integrierter RFID-Systeme schnell auffindbar. Mit unseren Purge Systemen schützen Sie die empfindlichen Waferoberflächen während der Zwischenlagerung vor Verunreinigung.
Überblick Lagersysteme
Stocker-Lagersysteme
FlatStocker - automatisches Reinraum-Lagersystem
Platzsparende Lagerung unterschiedlicher Produktträger unterhalb der Reinraumdecke
ZFS (Conveyor)
Platzsparende Lagerung unterhalb der Reinraumdecke mittels Zero Footprint Storage
Regalsysteme
RFID-Regal
Produkte werden beim Abstellen automatisch identifiziert und nachvollziehbar eingelagert
Purge Systeme
FOUP Purge System
Nachrüstbares Purge System schützt die Wafer zwischen den Produktionsschritten