07.09.2016
Infineon Dresden schützt empfindliche Waferoberflächen mit dem Stocker Purge System von Fabmatics
Für die Produktionslinie von Leistungshalbleitern auf 300mm Wafern der Infineon Technologies Dresden GmbH hat die Roth & Rau – Ortner GmbH, jetzt Fabmatics GmbH, im Auftrag von Murata Machinery einen bestehenden FOUP Stocker mit einem Stickstoff-Spülsystem nachgerüstet.
Das Purge System von Fabmatics spült die FOUPs mit den Wafern während ihrer Lagerung im Stocker mit Stickstoff. Nach einem entsprechenden Umbau der Bin Shelves wurden in einem bestehenden FOUP Stocker der Firma Murata insgesamt 200 Plätze mit dem Purge System ausgestattet. Besonders vorteilhaft ist das Ansteuern jedes einzelnen Purge Platzes sowie die Ausstattung jeden Platzes mit Elektronik zur Überwachung des Purge-Vorganges. Das System kann per Web-GUI über den Zustand und die Belegung aller Purge Plätze sowie auch einzelner Systemmodule informieren und ist mit dem Stocker Controller verbunden. Für die notwendige Sicherheit beim Betreten der Anlage und eine automatische Abschaltung des Spülgases im Gefahrenfall sorgt eine Sauerstoff-Überwachung.
Das Stocker Purge System ist modular aufgebaut und für die Nachrüstung aller Größen von Murata Frame Stockern für 300mm FOUPs ausgelegt.
Das System ist seit nun mehr 6 Monaten fehlerfrei in Betrieb.