Die nachträgliche Automatisierung von Halbleiterfabriken schafft Produktivitätsgewinne – das erkannte Infineon bereits vor zehn Jahren. Der Halbleiterproduzent setzte in Dresden schon damals auf den Einsatz innovativer Systeme zum Materialhandling. 2009 beauftragte Infineon Fabmatics mit der Entwicklung eines reinraumtauglichen, mobilen Roboters zur Beladung von Prozessmaschinen in der 200mm-Fertigungslinie. Am 21. April 2010 wurde der erste Roboter dieser Art an Infineon ausgeliefert.

Das war die Geburtsstunde des HERO (HElping RObot): ein schienengebundener Roboter, der Wafer-Kassetten innerhalb einer so genannten Bay (Prozessfinger einer Halbleiterfabrik) automatisch zu den Loadports der Prozessmaschinen bringt und sie von dort auch wieder abholt (Intrabay-Transport). An definierten Punkten, z. B. an einem Lift, übergibt der HERO die Wafer-Kassette an das fabrikweite Transportsystem. Damit ist der HERO integraler Teil eines Gesamtsystems für den vollautomatischen Produktionsdurchlauf der Wafer.

„Es hat sich gezeigt, dass der größte Vorteil der Automatisierung im kontinuierlichen Betrieb der Anlagen besteht – sprich keine Pausen, keine Schichtwechsel. Das Material fließt gleichmäßiger, was letztlich zu einer erheblichen Durchlaufzeiteinsparung führt beziehungsweise dazu genutzt werden kann, die Anlagen höher auszulasten“, resümierte Dr. Johannes Sturm, der damalige Leiter für Factory Logistics & Automation bei Infineon Dresden bereits 2014. (Quelle: Automationspraxis)

Mit dem HERO 1 begann für Fabmatics eine kleine Erfolgsgeschichte. Innerhalb von drei Jahren wurden mehr als 120 dieser Systeme im Dresdner Werk von Infineon in Betrieb genommen. Sie fahren bis heute täglich auf ihren Bahnen. Auch an anderen Standorten des Konzerns kommt der HERO zum Einsatz. Weitere deutsche Halbleiterfabriken erkannten ebenfalls das Potential des Roboters, der 24 Stunden am Tag, 7 Tage in der Woche zuverlässig seinen Dienst verrichtet.

In den vergangenen zehn Jahren wurde der HERO kontinuierlich optimiert und weiterentwickelt. 2015 entstand sogar ein Schwestersystem des mobilen Roboters auf einer freifahrenden Plattform, der HERO Fab. Doch auch wenn sich der autonom navigierende HERO Fab großer Beliebtheit erfreut, ist der zehn Jahre alte, schienengebundene HERO Rail noch lange kein Oldie. Mit seiner hohen Zuverlässigkeit und Robustheit ist er für unsere Kunden attraktiver denn je. An der Entwicklung der zweiten Generation wird schon gearbeitet. Unser HERO wird also auch in Zukunft runde Geburtstage feiern.