Breakout Session | 29. Januar 2026, 16 Uhr | Automatisierte Reticle Logistik – Vom Konzept zur Umsetzung

Fotomasken sind zentrale, empfindliche und hochkritische Ressourcen in der Lithografie. Ihre Verfügbarkeit entscheidet maßgeblich über Durchsatz, Yield und die Gesamtperformance einer Fab. Mit zunehmender Komplexität moderner Fertigungen steigen die Anforderungen an eine effiziente und automatisierte Reticle-Logistik.

Unsere Breakout Session auf dem diesjährigen Innovation Forum for Automation gibt einen umfassenden Überblick über:

  • Die Bedeutung der Reticle-Logistik als Performance-Hebel in der Lithografie
  • State-of-the-Art Reticle-Pod-Handling für 200-mm- und 300-mm-Fabs
  • Automatisierte Lager-, Transport- und Handlingsysteme inklusive technischer Umsetzungskonzepte
  • Digitale Validierung und Simulation, um Risiken frühzeitig zu minimieren
  • Intelligente Reticle‑Scheduling‑Algorithmen zur Maximierung der Tool-Utilization

Unsere Sprecher

  • Prof. Dr. Germar Schneider, Infineon Technologies
  • Dr.-Ing. Karl-Benedikt Reith, Fabmatics

Die Teilnehmenden erhalten strategische Einblicke, technische Best Practices und konkrete Erfahrungen aus realen Kundenprojekten.

Für wen eignet sich die Session?

  • Lithografie‑Expert:innen
  • Automatisierungs- und Integrationsingenieur:innen
  • Verantwortliche für Fab‑Planung, Modernisierung oder Kapazitätssteigerung

Jetzt Registrieren

Meet & Greet mit unserem HERO Scout | Live Demo

Auf der Ausstellungsfläche zeigen wir, wie unser mobiler Roboter HERO Scout die Automatisierung von Reticle‑Logistikprozessen unterstützt.

Als flexibler, reinraumtauglicher AGV demonstriert der HERO Scout live vor Ort, wie Reticles sicher, zuverlässig und effizient transportiert werden können – ein entscheidender Baustein für eine integrierte und leistungsstarke Reticle‑Supply‑Chain in der Lithografie.

Mehr zum HERO Scout

Eckdaten Innovation Forum for Automation 2026

Datum: 29.-30.01.2026
Ort: DGUV Akademie, Dresden
Konferenzsprache: Englisch
Veranstalter: Automation Network Dresden

Breakout Session: 29. Januar 2026, Beginn um 16 Uhr

Jetzt Registrieren