{"id":21504,"date":"2026-07-30T15:38:06","date_gmt":"2026-07-30T13:38:06","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fabmatics.com\/?p=21504"},"modified":"2026-07-30T15:38:06","modified_gmt":"2026-07-30T13:38:06","slug":"zukunft-der-lithografie-logistik-hero-scout-im-realtest","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/events\/zukunft-der-lithografie-logistik-hero-scout-im-realtest\/","title":{"rendered":"Zukunft der Lithografie-Logistik: HERO Scout im Realtest"},"content":{"rendered":"<h2>AIMS 5.0: KI gest&uuml;tzte Automatisierung f&uuml;r die Industrie 5.0 Fabrik<\/h2>\n<p data-wp-editing=\"1\"><a href=\"https:\/\/aims50.eu\/index.php\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-21515\" title=\"logo-aims-5-0-project\" src=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/logo-aims-5-0-project-300x188.png\" alt=\"\" width=\"250\" height=\"157\" srcset=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/logo-aims-5-0-project-300x188.png 300w, https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/logo-aims-5-0-project.png 498w\" sizes=\"auto, (max-width: 250px) 100vw, 250px\" \/><\/a>Das <a href=\"https:\/\/aims50.eu\/index.php\">EU&#8209;Forschungsprojekt AIMS 5.0<\/a> (Artificial Intelligence in Manufacturing leading to Sustainability and Industry 5.0) z&auml;hlt zu den zentralen europ&auml;ischen Initiativen, um die digitale Souver&auml;nit&auml;t in der Halbleiterfertigung zu st&auml;rken. 53 Partner aus 12 L&auml;ndern entwickeln zwischen 2023 und 2026 neue KI&#8209;f&auml;hige Komponenten, Softwareplattformen und Automatisierungsl&ouml;sungen f&uuml;r eine produktive, resiliente und nachhaltige Industrieproduktion.<\/p>\n<p>Koordiniert wird das Projekt von Infineon Technologies, unter anderem mit einem starken Standortbeitrag aus Dresden. In mehreren Use Cases werden Technologien direkt in realen Fabrikumgebungen qualifiziert &ndash; von KI&#8209;gest&uuml;tzter Prozessoptimierung bis zur autonomen Logistik im Reinraum. Fabmatics ist in den <strong>Themengebieten &bdquo;Smart Transport &amp; Storage Concepts for Future AI-based Automation Systems&ldquo;<\/strong> und <strong>&bdquo;AI-based Control &amp; Virtual Commissioning for mobile Systems&ldquo;<\/strong> ma&szlig;geblich beteiligt: Neben neuen Lagerl&ouml;sungen wie dem <a href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/produkte\/storage\/stocker-systeme\/flatstocker-reinraum-zero-footprint-stocker\/\">FlatStocker<\/a> 3.0 und <a href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/lp\/automation-system-modeling\/\">digitalen Zwillingen f&uuml;r Automatisierungssysteme<\/a> umfasst der Beitrag insbesondere die Entwicklung eines mobilen Robotersystems der neuesten Generation inklusive KI-f&auml;higer Steuerungssoftware und Auto-Teaching f&uuml;r z.B. die Reticlelogistik &ndash; der HERO Scout.<\/p>\n<p><span class=\"iframe-wrapper\"><iframe loading=\"lazy\" title=\"YouTube video player\" frameborder=\"0\" height=\"450\" src=\"\" width=\"800\" data-src=\"https:\/\/www.youtube-nocookie.com\/embed\/skwJKUScRKU?si=3ITrtdGo4rAWPYxs\" data-cookiecategory=\"functionality\" data-cookiescript=\"accepted\"><\/iframe><span class=\"iframe-wrapper-info\"><span><strong>Externe Inhalte<\/strong><br><br>Bitte <a href=\"javascript:CookieScript.instance.acceptAction(%5B'functionality'%5D)\">akzeptieren Sie \"Externe Medien\"-Cookies<\/a> um den Inhalt zu sehen.<br><br><small>Ich bin einverstanden, dass mir externe Inhalte angezeigt werden und personenbezogene Daten an Dritte laut den <a href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/events\/zukunft-der-lithografie-logistik-hero-scout-im-realtest\/\" target=\"_blank\">Datenschutzbestimmungen<\/a> &uuml;bermittelt werden. <\/small><\/span><\/span><\/span><\/p>\n<h2>Reticle Logistik als Schl&uuml;sselprozess in der Lithografie<\/h2>\n<p>Die Lithografie ist einer der kostenintensivsten und taktgebenden Bereiche in der Halbleiterfertigung. Hier werden mittels Fotomasken (Reticles) hochfeine Mikro&#8209; und Nanostrukturen auf den Wafer projiziert &ndash; h&auml;ufig &uuml;ber mehrere Dutzend Schichten hinweg. Jede Verz&ouml;gerung oder Fehlversorgung an den Belichtungsanlagen wirkt sich direkt auf Durchsatz, OEE (Overall Equipment Effectiveness) und Ausbeute der gesamten Fertigung aus.<\/p>\n<p>Parallel zur WIP&#8209;Logistik der Wafer muss daher auch die Masken&#8209;Logistik hochgradig stabil und synchron funktionieren. Manuelles Handling von Reticle&#8209;Pods und Waferkassetten birgt Risiken: Fehler, Wartezeiten und ergonomisch ung&uuml;nstige Arbeitspl&auml;tze belasten sowohl Produktivit&auml;t als auch Personal. Genau hier setzt der Use Case im Rahmen von AIMS 5.0 an: Autonomer, hochpr&auml;ziser Reticle&#8209;Transport durch einen AMR, der sich flexibel in bestehende Reinrauminfrastrukturen integrieren l&auml;sst.<\/p>\n<h2>HERO Scout: Kompakter AMR f&uuml;r pr&auml;zises Reticle und Waferhandling<\/h2>\n<p>Der HERO Scout ist ein speziell f&uuml;r Reinr&auml;ume der Halbleiterindustrie entwickelter Autonomous Mobile Robot (AMR) mit integriertem 6 Achsen-Cobotarm. Sein Design folgt klaren Anforderungen aus der Praxis &ndash; definiert gemeinsam von Infineon Dresden und Fabmatics: hohe Funktionalit&auml;t, Performance, Wartbarkeit, Kosteneffizienz und maximale Flexibilit&auml;t im Lithografieumfeld.<\/p>\n<h3>Zentrale technische Eigenschaften:<\/h3>\n<p><a href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/lp\/hero-scout\/\"><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"alignright wp-image-14518 size-full\" title=\"Mobiler Roboter HERO Scout\" src=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2024\/06\/hero-scout-fabmatics-cropped_small_2.png\" alt=\"\" width=\"265\" height=\"450\" srcset=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2024\/06\/hero-scout-fabmatics-cropped_small_2.png 265w, https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2024\/06\/hero-scout-fabmatics-cropped_small_2-177x300.png 177w\" sizes=\"auto, (max-width: 265px) 100vw, 265px\" \/><\/a><\/p>\n<ul>\n<li><strong>Kompakter Footprint<\/strong><br>\nUltrakleine Grundfl&auml;che (ca. 66 &times; 56 cm) f&uuml;r den Einsatz in engen, verwinkelten Reinraumsegmenten<\/li>\n<li><strong>Gro&szlig;e Reichweite &amp; Nutzlast<\/strong><br>\nCobot-Reichweite von rund 200 bis 1.700 mm, ausgelegt f&uuml;r hochgelegene Loadports, mit einer Nutzlast von bis zu 20kg<\/li>\n<li><strong>Aktiver, kameragef&uuml;hrter Greifer<\/strong><br>\nAdaptive Greiferbacken f&uuml;r Reticle&#8209;Pods und offene Kassetten, kameraintegrierte Lageerkennung und 6D&#8209;Offset&#8209;Korrektur. Lasttr&auml;ger k&ouml;nnen sicher gegriffen werden, auch wenn Loadports nachtr&auml;glich manuell verschoben wurden.<\/li>\n<li><strong>3D&#8209;Vision &amp; Sicherheitsfunktionen<\/strong><br>\n3D&#8209;Kameras erkennen Hindernisse (z.&#8239;B. St&uuml;hle, Tische, Displays, Tastaturen), sowie negative Hindernisse wie fehlende Bodenplatten. Safety&#8209;Funktionen mit sensibler Kollisionsdetektion erm&ouml;glichen den sicheren Betrieb in Bereichen mit hohem Personenverkehr.<\/li>\n<li><strong>Hohe Fahrdynamik mit Vibrationskontrolle<\/strong><br>\nFahrgeschwindigkeiten bis zu 1,2 m\/s, optimierte Vibrationsd&auml;mpfung auch auf perforierten Doppelb&ouml;den.<\/li>\n<li><strong>Induktives Laden &amp; Auto&#8209;Teaching<\/strong><br>\nOn&#8209;the&#8209;fly&#8209;Ladung via integrierter Ladespule sowie schnelles Map&#8209;Training und Roadmap&#8209;Einlernen durch SLAM&#8209;basierte Navigation und Auto&#8209;Teaching&#8209;Funktionen.<\/li>\n<\/ul>\n<p>Softwareseitig setzt Fabmatics auf eine neu entwickelte, KI&#8209;f&auml;hige lokale Steuerungsarchitektur, die den <a href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/lp\/hero-scout\/\">HERO Scout<\/a> als intelligente Einheit in der Fab agieren l&auml;sst. Parallel wurde der Fabmatics-eigene Flottenmanager um KI&#8209;F&auml;higkeit erweitert, um perspektivisch eine Flotte von AMRs effizient zu koordinieren &ndash; inklusive dynamischer Routenplanung und Auftragsverteilung.<\/p>\n<h2>Realtest in der 200 mm Fab von Infineon Dresden<\/h2>\n<p>F&uuml;r die Validierung des HERO Scout wurde der Prototyp in der 200&#8209;mm&#8209;Lithografie-Fertigung von Infineon Dresden unter realen Reinraumbedingungen eingesetzt. Die Tests deckten zentrale Anwendungsszenarien ab:<\/p>\n<ul>\n<li>Transport und Handling von Reticle Pods und Waferkassetten<\/li>\n<li>Navigation durch enge und komplexe Reinraumumgebungen<\/li>\n<li>Interaktion mit dynamischen Hindernissen und Personenverkehr<\/li>\n<li>Einsatz in stark begrenzten Raumverh&auml;ltnissen<\/li>\n<li>Bewertung der Fahrstabilit&auml;t bei hohen Geschwindigkeiten<\/li>\n<\/ul>\n<p>Die Durchf&uuml;hrung erfolgte mit Dummy-Material, um reale Bedingungen zu simulieren, ohne den Produktionsbetrieb zu beeinflussen.<\/p>\n<p>&Uuml;ber alle Szenarien hinweg zeigte der HERO Scout eine hohe Zuverl&auml;ssigkeit in der Navigation, selbst in engen und dynamischen Reinraumbereichen. Sein kameragef&uuml;hrtes Greifsystem erwies sich als robust gegen&uuml;ber Verschiebungen der Loadports und erm&ouml;glichte pr&auml;zises Handling ohne erneutes Teaching. Zudem best&auml;tigten die Tests eine sichere Interaktion mit dem Umfeld, einschlie&szlig;lich Personenverkehr und variablen Hindernissen. Die Fahrstabilit&auml;t, insbesondere auf perforierten Doppelb&ouml;den, erf&uuml;llte die Anforderungen, und die Vibrationsmessungen blieben deutlich unter den relevanten Grenzwerten. Zus&auml;tzlich wurden gezielt Optimierungspotenziale identifiziert, die in die Weiterentwicklung einflie&szlig;en, ohne die grunds&auml;tzliche Einsatzreife einzuschr&auml;nken.<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"alignnone wp-image-21512 size-full\" title=\"mobile-robot-hero-scout-evaluation-infineon-dresden-aims-5-0-project\" src=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/mobile-robot-hero-scout-evaluation-infineon-dresden-aims-5-0-project.jpg\" alt=\"\" width=\"1500\" height=\"844\" srcset=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/mobile-robot-hero-scout-evaluation-infineon-dresden-aims-5-0-project.jpg 1500w, https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/mobile-robot-hero-scout-evaluation-infineon-dresden-aims-5-0-project-300x169.jpg 300w, https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/mobile-robot-hero-scout-evaluation-infineon-dresden-aims-5-0-project-1024x576.jpg 1024w, https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/mobile-robot-hero-scout-evaluation-infineon-dresden-aims-5-0-project-768x432.jpg 768w\" sizes=\"auto, (max-width: 1500px) 100vw, 1500px\" \/><\/p>\n<h2 class=\"likeh2\">Bedeutung f&uuml;r AIMS 5.0 und die Automatisierung in Halbleiterfabriken<\/h2>\n<p>Mit dem erfolgreichen Realtest des HERO Scouts bei Infineon Dresden liefert Fabmatics einen konkreten, industrierelevanten Demonstrator innerhalb von AIMS 5.0:<\/p>\n<ul>\n<li>Automatisierter Reticle&#8209;Transport als kritischer Hebel zur Steigerung der OEE in der Lithografie<\/li>\n<li>Skalierbare AMR&#8209;Plattform mit KI&#8209;f&auml;higer Steuerungsarchitektur und Flottenoption<\/li>\n<li>Nahtlose Integration in bestehende Fab&#8209;Layouts &ndash; ohne grundlegende Umbauten der Infrastruktur<\/li>\n<\/ul>\n<p>Perspektivisch er&ouml;ffnet der HERO Scout Halbleiterfabriken die M&ouml;glichkeit, die Reticle&#8209; und Waferlogistik schrittweise von manuellen auf autonome Prozesse umzustellen &ndash; bis hin zu komplett digitalisierten, durchg&auml;ngig automatisierten Materialfl&uuml;ssen. In Verbindung mit weiteren AIMS&#8209;5.0&#8209;Ergebnissen, wie digitalen Zwillingen und KI&#8209;f&auml;higer Flottensteuerung, entsteht so ein wesentlicher Baustein f&uuml;r die intelligente, vernetzte und nachhaltige Fabrik der Zukunft &ndash; made in Europe.<\/p>\n<hr>\n<p><strong>&Uuml;ber AIMS5.0:<\/strong><\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"size-full wp-image-21519 alignright\" title=\"logo-chips-ju\" src=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2026\/07\/logo-chips-ju.png\" alt=\"\" width=\"246\" height=\"90\"><\/p>\n<p>Das Projekt AIMS5.0 wird vom Chips Joint Undertaking und dessen Mitgliedern unterst&uuml;tzt, einschlie&szlig;lich der Zusatzfinanzierung durch nationale F&ouml;rderbeh&ouml;rden der beteiligten L&auml;nder im Rahmen der F&ouml;rdervereinbarung Nr. 101112089.<\/p>\n<p><a href=\"https:\/\/aims50.eu\/\">Weitere Informationen<\/a><\/p>\n<hr>\n<p><strong>&Uuml;ber Fabmatics:<\/strong><\/p>\n<p>Die Fabmatics GmbH mit Hauptsitz in Dresden ist ein f&uuml;hrender Spezialist f&uuml;r die Automatisierung von Materialfl&uuml;ssen und Handlingsprozessen in der Halbleiterindustrie und anderen hochtechnisierten Produktionsumgebungen. Seit der Gr&uuml;ndung im Jahr 1991 realisiert das Unternehmen erfolgreich ma&szlig;geschneiderte Automatisierungsl&ouml;sungen und hat sich insbesondere bei der Modernisierung von 200-Millimeter-Fabriken weltweit eine starke Marktposition erarbeitet.<\/p>\n<p>Das <a href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/#portfolio\">Portfolio<\/a> umfasst ein modular aufgebautes Angebot aus Hard- und Softwarel&ouml;sungen f&uuml;r Handling-, Transport- und Lagerprozesse sowie Systeme zur Produktidentifikation und -lokalisierung. Dazu z&auml;hlen unter anderem mobile Roboter, Roboterzellen, Reinraum-Lagersysteme, RFID-Technologien und Purge Systeme, die Effizienz, Geschwindigkeit und Prozesssicherheit in der Produktion steigern. Fabmatics vereint alle Kompetenzen der Materialflussautomatisierung unter Reinraumbedingungen aus einer Hand.<\/p>\n<p>Mit rund 300 Mitarbeitenden sowie einer Tochtergesellschaft in den USA ist Fabmatics weltweit t&auml;tig. Seit 2023 geh&ouml;rt das Unternehmen zur <a href=\"https:\/\/www.scio-automation.com\/de\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">SCIO Automation Group<\/a>, die in acht L&auml;ndern t&auml;tig ist und intelligente Automatisierungsl&ouml;sungen f&uuml;r f&uuml;hrende Industrieunternehmen bereitstellt. Fabmatics ist zudem aktives Mitglied in internationalen und regionalen Branchennetzwerken wie <a href=\"https:\/\/www.semi.org\/en\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">SEMI<\/a>, <a href=\"https:\/\/silicon-saxony.de\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">Silicon Saxony<\/a> und dem <a href=\"https:\/\/www.innovation-forum-automation.com\/\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">AND Automation Network Dresden<\/a>.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Im europ\u00e4ischen Forschungsprojekt AIMS 5.0 hat Fabmatics gemeinsam mit Infineon Technologies Dresden den neuen autonomen mobilen Roboter (AMR) HERO Scout unter Realbedingungen in einer 200mm\u2011Fertigung evaluiert. Die Ergebnisse best\u00e4tigen: Der HERO Scout ist technisch reif f\u00fcr den Einsatz in hochautomatisierten, digitalisierten Halbleiterfabs und leistet einen wichtigen Beitrag zu den Zielen von AIMS 5.0.<\/p>\n","protected":false},"author":13,"featured_media":21527,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[3,1,7],"tags":[],"class_list":["post-21504","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-events","category-news","category-presse"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/21504","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/13"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=21504"}],"version-history":[{"count":10,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/21504\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":21540,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/21504\/revisions\/21540"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/21527"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=21504"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=21504"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=21504"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}