{"id":15334,"date":"2024-08-15T17:54:41","date_gmt":"2024-08-15T15:54:41","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fabmatics.com\/?p=15334"},"modified":"2024-08-19T13:25:30","modified_gmt":"2024-08-19T11:25:30","slug":"mobiler-roboter-hero-scout","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/presse\/mobiler-roboter-hero-scout\/","title":{"rendered":"Fabmatics pr\u00e4sentiert neuen Helden f\u00fcr automatisiertes Reticle Handling im Reinraum"},"content":{"rendered":"

Dresden, Deutschland<\/strong> – Fabmatics, ein führender Anbieter von Automatisierungslösungen für die Halbleiterindustrie, stellt seinen neuesten autonomen mobilen Roboter (AMR) im Produktportfolio vor: den HERO Scout. Das innovative AMR wurde speziell für den flexiblen Transport und die sichere Handhabung von so genannten Reticle Pods entwickelt. In Reticle Pods werden hochwertige Fotomasken, die eine Schlüsselkomponente in der Herstellung von Mikrochips darstellen, transportiert.<\/p>\n

\"Schnell<\/a><\/p>\n

Bewältigung der Herausforderungen in der Fotolithografie<\/h3>\n

Im hochkomplexen und investitionsintensiven Lithografie-Prozess der Halbleiterfertigung werden mittels Fotomasken feinste Mikro- und Nanostrukturen auf die lichtempfindliche Schicht auf der Waferoberfläche projiziert. Im gesamten Fertigungsprozess werden so bis zu 50 Lithografie-Ebenen erzeugt – ein aufwendiges und zeitintensives Verfahren, das eine bestimmende Grundlage für die zu fertigendenden Mikrochips darstellt.<\/p>\n

Dieser Produktionsbereich stellt hohe Anforderungen an die Prozessführung, wie zum Beispiel Doppelbelichtungen, spezielle Maschinenzuweisungen und komplexe Zeitplanungen. Die Wafer müssen an den Belichtungsanlagen zum richtigen Zeitpunkt mit den richtigen Fotomasken (Reticles) zusammentreffen. Leerstand oder Wartezeiten an den wertvollen Lithografiemaschinen sind inakzeptabel. Der teuerste Bereich der Fabrik muss durchgehend und fehlerfrei laufen, um die Anlagen optimal auszulasten und maximalen Durchsatz zu erzielen.<\/p>\n

Eine wichtige Rolle spielt dabei die Masken-Logistik, die parallel zur Wafer-Logistik völlig synchron und stabil funktionieren muss. Manuelles Handling von Fotomasken führt jedoch zu Ineffizienzen und Fehlern, die den gesamten Produktionsprozess beeinträchtigen. Zudem erschweren ergonomisch ungünstig platzierte Reticle Pod-Beladepunkte die Arbeit der Anlagenbediener und stellen ein zusätzliches Unfallrisiko dar.<\/p>\n

Der Bedarf an Automatisierung<\/h3>\n

In einer Umgebung, in der Ausfälle und Wartezeiten nicht toleriert werden können, ist die Automatisierung des Reticle Handlings unverzichtbar. Der neue mobile Roboter HERO Scout erfüllt diesen Bedarf, indem er eine kontinuierliche, planungsgenaue und fehlerfreie Belieferung der Belichtungsanlagen sicherstellt und damit die Maschineneffizienz (Overall Equipment Efficiency – OEE) optimiert.<\/p>\n

Der HERO Scout: Flexible Automatisierungslösung für Reticle Pods im Reinraum<\/h3>\n

Als neueste Ergänzung der etablierten HERO-Produktfamilie<\/a> von Fabmatics definiert der mobile Roboter HERO Scout das Reticle-Handling in Halbleiter-Reinräumen neu. Ausgestattet mit einem hochsensiblen Cobot-Arm kann er das Be- und Entladen von Masken-Loadports in verschiedenen Höhen, auch in ergonomisch herausfordernden Positionen und unter beengten Platzverhältnissen, bewältigen.<\/p>\n

Key Features und Benefits\"\"<\/h3>\n