{"id":1193,"date":"2016-09-07T15:53:57","date_gmt":"2016-09-07T13:53:57","guid":{"rendered":"http:\/\/www.fabmatics.com\/de\/?p=1193"},"modified":"2016-10-25T10:00:19","modified_gmt":"2016-10-25T08:00:19","slug":"infineon-dresden-schuetzt-empfindliche-waferoberflaechen-mit-dem-stocker-purge-system-von-fabmatics","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/news\/infineon-dresden-schuetzt-empfindliche-waferoberflaechen-mit-dem-stocker-purge-system-von-fabmatics\/","title":{"rendered":"Infineon Dresden sch\u00fctzt empfindliche Waferoberfl\u00e4chen mit dem Stocker Purge System von Fabmatics"},"content":{"rendered":"<div id=\"gallery\">\n<div>Mit diesem System ist es m&ouml;glich, die empfindliche Oberfl&auml;che der 300mm Wafer vor Feuchtigkeit, Ausgasungen oder Luftsauerstoff zu sch&uuml;tzen, um Defekte oder gar Produktionsverluste zu minimieren oder auszuschlie&szlig;en. Speziell dann, wenn die Wafer in Zwischenlagern auf den n&auml;chsten Prozessschritt warten m&uuml;ssen, ist die Gefahr dieser unerw&uuml;nschten Nebenreaktionen besonders hoch.<\/div>\n<\/div>\n<div>\n<div>\n<div>\n<p>Das <a title=\"Purge System von Fabmatics\" href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/produkte\/storage\/purge-systeme\/stocker-purge\/\">Purge System<\/a> von Fabmatics sp&uuml;lt die FOUPs mit den Wafern w&auml;hrend ihrer Lagerung im Stocker mit Stickstoff. Nach einem entsprechenden Umbau der Bin Shelves wurden in einem bestehenden FOUP Stocker der Firma Murata insgesamt 200 Pl&auml;tze mit dem Purge System ausgestattet. Besonders vorteilhaft ist das Ansteuern jedes einzelnen Purge Platzes sowie die Ausstattung jeden Platzes mit Elektronik zur &Uuml;berwachung des Purge-Vorganges. Das System kann per Web-GUI &uuml;ber den Zustand und die Belegung aller Purge Pl&auml;tze sowie auch einzelner Systemmodule informieren und ist mit dem Stocker Controller verbunden. F&uuml;r die notwendige Sicherheit beim Betreten der Anlage und eine automatische Abschaltung des Sp&uuml;lgases im Gefahrenfall sorgt eine Sauerstoff-&Uuml;berwachung.<\/p>\n<p>Das Stocker Purge System ist modular aufgebaut und f&uuml;r die Nachr&uuml;stung aller Gr&ouml;&szlig;en von Murata Frame Stockern f&uuml;r 300mm FOUPs ausgelegt.<\/p>\n<p>Das System ist seit nun mehr 6 Monaten fehlerfrei in Betrieb.<\/p>\n<\/div>\n<\/div>\n<\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Mit diesem System ist es m&ouml;glich, die empfindliche Oberfl&auml;che der 300mm Wafer vor Feuchtigkeit, Ausgasungen oder Luftsauerstoff zu sch&uuml;tzen, um Defekte oder gar Produktionsverluste zu minimieren oder auszuschlie&szlig;en. Speziell dann, wenn die Wafer in Zwischenlagern auf den n&auml;chsten Prozessschritt warten m&uuml;ssen, ist die Gefahr dieser unerw&uuml;nschten Nebenreaktionen besonders hoch. Das Purge System von Fabmatics sp&uuml;lt [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":3196,"comment_status":"open","ping_status":"open","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"footnotes":""},"categories":[1],"tags":[],"class_list":["post-1193","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-news"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1193","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=1193"}],"version-history":[{"count":6,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1193\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":3695,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/1193\/revisions\/3695"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/3196"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=1193"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=1193"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=1193"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}