Vorteile auf einen Blick<\/h3>\n\n- Verhindert Waferdefekte und Ertragsverluste<\/strong>,
\nindem AMC und Oxidation während der Lagerung verhindert werden<\/li>\n- Erhöht die Produktionsflexibilität<\/strong>,
\nda längere Wartezeiten zwischen Prozessschritten ohne Risiko möglich sind<\/li>\n- Verbessert die Gesamtausbeute<\/strong>,
\ndurch permanenten Schutz auch an inaktiven Lagerplätzen<\/li>\n- Reduziert Betriebskosten<\/strong>
\ndank langlebiger, wartungsarmer Systemkomponenten<\/li>\n- Schützt bereits getätigte Investitionen<\/strong>,
\nda eine nahtlose Nachrüstung in vorhandene FOUP-Lagersysteme wie Zero Footprint Storage möglich ist<\/li>\n- Optimiert die Reinraumausnutzung<\/strong>,
\nda das System ohne zusätzlichen Platzbedarf in bestehende Strukturen integriert wird<\/li>\n- Sichert Prozesskontrolle und Transparenz<\/strong>,
\nüber intelligente webbasierte Überwachung und optionale HSMS-Anbindung<\/li>\n<\/ul>\nSystemdesign im Überblick<\/h3>\n
![\"Allgemeiner](\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2020\/01\/advanced-zfs-purge-system-general-design.jpg\" "\\"Allgemeiner")
<\/a><\/p>\nFeatures<\/h3>\n
Nachrüstbares Design<\/strong><\/p>\n\n- Kompatibel mit bestehenden FOUP-Lagersystemen (z. B. Zero Footprint Stocker)<\/li>\n
- Installation im laufenden Fab-Betrieb möglich<\/li>\n<\/ul>\n
Platzsparende Integration<\/strong><\/p>\n\n- Purge-Nester sind vollständig in bestehende Lagerplätze integrierbar<\/li>\n
- Schlankes, leichtes und modulares Design – kein zusätzlicher Platzbedarf<\/li>\n<\/ul>\n
Flexible Installation & Wartung<\/strong><\/p>\n\n- APNU-Module können in Reihen, Gängen oder Matrix-Konfigurationen eingebaut werden<\/li>\n
- Schneller, unkomplizierter Austausch einzelner Einheiten<\/li>\n<\/ul>\n
Reinheit auf höchstem Niveau<\/strong><\/p>\n\n- Hochentwickelte Purge-Schnittstelle für maximale Gasreinheit und Langlebigkeit<\/li>\n
- Jede APNU verfügt über einen eigenen Partikelfilter<\/li>\n<\/ul>\n
Intelligente Steuerung<\/strong><\/p>\n\n- Unabhängige Purge-Steuerung pro FOUP-Nest – keine Kreuzkontamination oder Gasverschwendung<\/li>\n
- Echtzeitüberwachung der Gasströme über Rückstau-Sensorik<\/li>\n
- Individuell einstellbare Spülintervalle über Purgeprofile<\/li>\n
- Webbasierte Service-GUI für Konfiguration und Diagnose<\/li>\n
- Optional: Qualitätsüberwachung mit Qualification FOUP<\/li>\n
- Steuerungssystem auf Basis von Embedded Linux<\/li>\n
- Optional: HSMS-Schnittstelle gemäß SEMI E88<\/li>\n<\/ul>\n
Geräuscharmer Betrieb<\/strong><\/p>\n\n- \n
Geräuschlose Inertgasspülung unter allen Betriebsbedingungen<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n
Einsatzszenarien für das FOUP Purge System<\/h3>\n\n- Zero Footprint Storage (ZFS)<\/li>\n
- Overhead Buffers (OHB)<\/li>\n
- Individuelle Lösungen für Stocker-Purgen auf Anfrage<\/li>\n<\/ul>\n
Mögliche Anpassungen:<\/strong><\/p>\n\n- Für andere Produktträger\/Wafergrößen, z. B. SMIF Pods (200 mm)<\/li>\n
- Für Matrix Frame Storage (Stocker, Regale)<\/li>\n
- Für Zero Footprint Storage (OHT-Lagerplätze)<\/li>\n<\/ul>\n
![\"Nitrogen](\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2025\/05\/nitrogen-purge-system-application-ohb.jpg\" "\\"N2")
<\/a><\/h3>\nBeispiel für die Integration von N2 Purgen für Overhead-Buffer (OHB)<\/p>\n
In Halbleiterfabriken weltweit im Einsatz<\/h3>\n
In mehreren 300 mm-Fabs wurden bereits über 9.500 Zero Footprint Storage-Bins<\/strong> mit dem FOUP Purge System von Fabmatics nachgerüstet – mit deutlicher Steigerung der Fertigungsausbeute und der Möglichkeit, höhere Standzeiten der Lose vor der Weiterverarbeitung zu realisieren.<\/p>\nZudem wurden über 800 Stocker-Stellplätze in Matrix Frame Storage (MFS) Stockern<\/strong> mit Spülfunktion ausgestattet. Die nun als Purge-Stocker zur Verfügung stehenden Anlagen dienen innerhalb der Produktion als WIP (Work in Progress)-Zwischenlager.<\/p>\nIn einer weiteren 300mm Halbleiterfabrik wurden fast 9.000 Regallagerplätze<\/strong> ebenfalls mit einem Fabmatics MFS (Matrix Frame Storage) FOUP Purge System ausgestattet. Besonders niedrige Spülgasflussraten dienen dabei der Langzeitlagerung von end-prozessierten Wafern.<\/p>\n\nWollen Sie mehr erfahren?<\/h3>\n
Sichern Sie sich eine zuverlässige, saubere FOUP-Lagerung – ganz ohne kostenintensive Infrastrukturmaßnahmen.
Kontaktieren Sie unser Team, um eine maßgeschneiderte Purge-Lösung für Ihre Fab zu finden.<\/strong><\/p>\nWafer Pod Purge System – Produktblatt [pdf]<\/a>
\nWafer Pod Purge System – Produktübersicht [pdf]<\/a><\/p>\n<\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"Zuverlässiger Schutz der Wafer während der Zwischenlagerung In der Chipindustrie werden Wafer-Oberflächen mit immer kleineren Strukturbreiten hergestellt. Die Folge sind empfindlichere Oberflächen der Wafer. Diese müssen vor Feuchtigkeit, Luftsauerstoff und luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC) geschützt werden, um Defekte oder gar Produktionsverluste zu minimieren oder ausschließen zu können. Bei Wafern, die in Zwischenlagern auf den nächsten […]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":6622,"parent":1686,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"product.php","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-927","page","type-page","status-publish","has-post-thumbnail","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/927","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=927"}],"version-history":[{"count":10,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/927\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":19755,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/927\/revisions\/19755"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/1686"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/6622"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=927"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}
\nindem AMC und Oxidation während der Lagerung verhindert werden<\/li>\n
\nda längere Wartezeiten zwischen Prozessschritten ohne Risiko möglich sind<\/li>\n
\ndurch permanenten Schutz auch an inaktiven Lagerplätzen<\/li>\n
\ndank langlebiger, wartungsarmer Systemkomponenten<\/li>\n
\nda eine nahtlose Nachrüstung in vorhandene FOUP-Lagersysteme wie Zero Footprint Storage möglich ist<\/li>\n
\nda das System ohne zusätzlichen Platzbedarf in bestehende Strukturen integriert wird<\/li>\n
\nüber intelligente webbasierte Überwachung und optionale HSMS-Anbindung<\/li>\n<\/ul>\n
Systemdesign im Überblick<\/h3>\n
Nachrüstbares Design<\/strong><\/p>\n Platzsparende Integration<\/strong><\/p>\n Flexible Installation & Wartung<\/strong><\/p>\n Reinheit auf höchstem Niveau<\/strong><\/p>\n Intelligente Steuerung<\/strong><\/p>\n Geräuscharmer Betrieb<\/strong><\/p>\n Geräuschlose Inertgasspülung unter allen Betriebsbedingungen<\/p>\n<\/li>\n<\/ul>\n Mögliche Anpassungen:<\/strong><\/p>\n Beispiel für die Integration von N2 Purgen für Overhead-Buffer (OHB)<\/p>\n In mehreren 300 mm-Fabs wurden bereits über 9.500 Zero Footprint Storage-Bins<\/strong> mit dem FOUP Purge System von Fabmatics nachgerüstet – mit deutlicher Steigerung der Fertigungsausbeute und der Möglichkeit, höhere Standzeiten der Lose vor der Weiterverarbeitung zu realisieren.<\/p>\n Zudem wurden über 800 Stocker-Stellplätze in Matrix Frame Storage (MFS) Stockern<\/strong> mit Spülfunktion ausgestattet. Die nun als Purge-Stocker zur Verfügung stehenden Anlagen dienen innerhalb der Produktion als WIP (Work in Progress)-Zwischenlager.<\/p>\n In einer weiteren 300mm Halbleiterfabrik wurden fast 9.000 Regallagerplätze<\/strong> ebenfalls mit einem Fabmatics MFS (Matrix Frame Storage) FOUP Purge System ausgestattet. Besonders niedrige Spülgasflussraten dienen dabei der Langzeitlagerung von end-prozessierten Wafern.<\/p>\n Sichern Sie sich eine zuverlässige, saubere FOUP-Lagerung – ganz ohne kostenintensive Infrastrukturmaßnahmen. Wafer Pod Purge System – Produktblatt [pdf]<\/a> Zuverlässiger Schutz der Wafer während der Zwischenlagerung In der Chipindustrie werden Wafer-Oberflächen mit immer kleineren Strukturbreiten hergestellt. Die Folge sind empfindlichere Oberflächen der Wafer. Diese müssen vor Feuchtigkeit, Luftsauerstoff und luftgetragenen molekularen Verunreinigungen (AMC) geschützt werden, um Defekte oder gar Produktionsverluste zu minimieren oder ausschließen zu können. Bei Wafern, die in Zwischenlagern auf den nächsten […]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":6622,"parent":1686,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"product.php","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-927","page","type-page","status-publish","has-post-thumbnail","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/927","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=927"}],"version-history":[{"count":10,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/927\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":19755,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/927\/revisions\/19755"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/1686"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/6622"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=927"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}<\/a><\/p>\nFeatures<\/h3>\n
\n
\n
\n
\n
\n
\n
Einsatzszenarien für das FOUP Purge System<\/h3>\n
\n
\n
<\/a><\/h3>\nIn Halbleiterfabriken weltweit im Einsatz<\/h3>\n
Wollen Sie mehr erfahren?<\/h3>\n
Kontaktieren Sie unser Team, um eine maßgeschneiderte Purge-Lösung für Ihre Fab zu finden.<\/strong><\/p>\n
\nWafer Pod Purge System – Produktübersicht [pdf]<\/a><\/p>\n<\/div>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"