{"id":909,"date":"2016-10-10T11:12:31","date_gmt":"2016-10-10T09:12:31","guid":{"rendered":"http:\/\/www.fabmatics.com\/de\/?page_id=909"},"modified":"2025-08-26T14:28:11","modified_gmt":"2025-08-26T12:28:11","slug":"transportsystem","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/produkte\/transport\/conveyor-rollenfoerderer\/transportsystem\/","title":{"rendered":"Conveyor-Transportsystem"},"content":{"rendered":"

Intelligent gesteuertes Conveyor-Transportsystem für die Halbleiterindustrie<\/h2>\n

Der reinraumgerechte Rollenförderer<\/strong> kann unterschiedliche Varianten von Transportboxen wie FOUPs, SMIF Pods, HA200-Boxen, offene Wafer-Kassetten<\/strong> und kundenspezifische Wafer-Boxen transportieren.<\/p>\n

Die in Zonen angeordneten, separat angesteuerten Antriebsmotoren des Rollenförderer -Transportsystems ermöglichen den kollisionsfreien automatisierten Transport<\/strong>. Die Transportgüter können somit in den Sektionen unterschiedlich beschleunigt oder verzögert werden. Um eine Synchronisation der Antriebsseite mit den passiven Laufrollen sicherzustellen, sind die Rollen in regelmäßigen Abständen mit Hohlwellen verbunden.<\/p>\n

Durch vielseitige Kombination von Strecken-, Lift- und Drehelementen<\/strong> können sehr individuelle Wafer-Transportlösungen für Halbleiterfabriken<\/strong> realisiert werden. Insbesondere dann, wenn es darum geht, wenig Platz optimal zu nutzen, bietet das System beste Möglichkeiten. Auch die Verbindung mehrerer Produktionsebenen<\/strong> einer Fabrik ist mit diesem Transportsystem möglich.<\/p>\n

Zusätzliche Arbeitsschritte wie das Auslesen der Carrier-IDs und Wafer-IDs, die Verifizierung (Mapping) und das Ausrichten (Aligning)<\/strong> der Wafer können zeitsparend in den Transportprozess integriert werden – überall in der Transportstrecke.<\/p>\n

Ein besonderes Merkmal des Conveyor-Transportsystems für Reinräume ist die einfache und flexible Steuerung über eingebaute Micro-Controller<\/strong>. Durch den modularen Aufbau der Conveyor-Elemente und die einfache Verkabelung wird das Conveyor-Transportsystem sehr schnell in den aktiven Produktionsstatus<\/strong> in der Halbleiterfabrik überführt.<\/p>\n

Besondere Merkmale des Conveyor-Transportsystems:<\/h5>\n
    \n
  • Erfüllt die Anforderungen Reinraumklasse ISO 3 \/ US FED 1<\/li>\n
  • Konfigurierbar auf verschiedene Produktgrößen<\/li>\n
  • Systemerweiterungen sind jederzeit möglich<\/li>\n
  • Automatisierungs- und Integrationsmöglichkeiten mit SEMI E82; E84; E99<\/li>\n
  • Einfache Installation und Integration bei laufender Produktion durch modularen Aufbau<\/li>\n
  • Einfache und flexible Steuerung über eingebaute Micro-Controller<\/li>\n<\/ul>\n
    Realisierte Automatisierungsszenarien in Halbleiterfabriken:<\/h5>\n
      \n
    • Intrabay und Interbay-Transport von 200mm-Wafer-Kassetten unter der Reinraumdecke, Transport zur Prozessanlage über Liftsysteme und mobile Robotersysteme auf Operatorlevel<\/li>\n
    • Waferboxen-Transport über 3 Fabriketagen inkl. Ein- und Ausgabestationen auf Operatorlevel<\/li>\n
    • Empty Pod Management – Puffern von Transportboxen unter der Reinraumdecke<\/li>\n<\/ul>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

      Intelligent gesteuertes Conveyor-Transportsystem für die Halbleiterindustrie Der reinraumgerechte Rollenförderer kann unterschiedliche Varianten von Transportboxen wie FOUPs, SMIF Pods, HA200-Boxen, offene Wafer-Kassetten und kundenspezifische Wafer-Boxen transportieren. Die in Zonen angeordneten, separat angesteuerten Antriebsmotoren des Rollenförderer -Transportsystems ermöglichen den kollisionsfreien automatisierten Transport. Die Transportgüter können somit in den Sektionen unterschiedlich beschleunigt oder verzögert werden. Um eine Synchronisation […]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":6029,"parent":1625,"menu_order":0,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"product.php","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-909","page","type-page","status-publish","has-post-thumbnail","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/909","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=909"}],"version-history":[{"count":11,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/909\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":6049,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/909\/revisions\/6049"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/1625"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/6029"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=909"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}