{"id":885,"date":"2016-10-10T11:07:07","date_gmt":"2016-10-10T09:07:07","guid":{"rendered":"http:\/\/www.fabmatics.com\/de\/?page_id=885"},"modified":"2023-06-20T16:21:08","modified_gmt":"2023-06-20T14:21:08","slug":"euv-reticle-handling","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/produkte\/handling\/reticle-handling\/euv-reticle-handling\/","title":{"rendered":"EUV-Reticle-Handling"},"content":{"rendered":"<h2>H&ouml;chste Reinraumqualit&auml;t<\/h2>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"wp-image-2463 size-full aligncenter\" title=\"EUV-Reticle-Handling\" src=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2016\/10\/hap-Anlagenmontage01Rev1.jpg\" alt=\"EUV-Reticle-Handling\" width=\"731\" height=\"366\" srcset=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2016\/10\/hap-Anlagenmontage01Rev1.jpg 731w, https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2016\/10\/hap-Anlagenmontage01Rev1-300x150.jpg 300w\" sizes=\"auto, (max-width: 731px) 100vw, 731px\" \/><br>\nDie EUV-Technologie als spezielle Belichtungstechnologie zur Herstellung von Highend-Mikroelektronikbauelemente stellt h&ouml;chste Anforderungen an die Zuverl&auml;ssigkeit und Sauberkeit des Handlings von EUV-Reticle. Diesem Anspruch werden die L&ouml;sungen von&nbsp;Fabmatics gerecht. Handling-Systeme f&uuml;r EUV-Reticle sind sowohl als Standalone-Ger&auml;te, z. B. als Reticlesorter, als auch als Equipment-Front-Module, z. B. als Beladesystem, verf&uuml;gbar. Ein Fabmatics-Loadport f&uuml;r RSP-Pods und Dual-Pods, verschiedenste Detektionsmodule, Greifer und Flipeinrichtungen sind dabei wesentliche Bestandteile.<\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>H&ouml;chste Reinraumqualit&auml;t Die EUV-Technologie als spezielle Belichtungstechnologie zur Herstellung von Highend-Mikroelektronikbauelemente stellt h&ouml;chste Anforderungen an die Zuverl&auml;ssigkeit und Sauberkeit des Handlings von EUV-Reticle. Diesem Anspruch werden die L&ouml;sungen von&nbsp;Fabmatics gerecht. Handling-Systeme f&uuml;r EUV-Reticle sind sowohl als Standalone-Ger&auml;te, z. B. als Reticlesorter, als auch als Equipment-Front-Module, z. B. als Beladesystem, verf&uuml;gbar. Ein Fabmatics-Loadport f&uuml;r RSP-Pods und [&hellip;]<\/p>\n","protected":false},"author":4,"featured_media":12785,"parent":1663,"menu_order":1,"comment_status":"closed","ping_status":"closed","template":"product.php","meta":{"footnotes":""},"class_list":["post-885","page","type-page","status-publish","has-post-thumbnail","hentry"],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/885","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/types\/page"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/users\/4"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=885"}],"version-history":[{"count":10,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/885\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":12793,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/885\/revisions\/12793"}],"up":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/pages\/1663"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media\/12785"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=885"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}