Überall dort, wo Produkte und Materialien unter Reinraumbedingungen verarbeitet werden, können wir mit unseren Systemen die Abläufe automatisieren und damit die komplette Produktion beschleunigen. Dazu zählen u.a. die Automatisierung im Reinraum, die Automatisierung von Bestandsfabriken, die Materialhandhabung im Reinraum, die automatisierte Handhabung von Wafern und Carriern, Transportsysteme für Waferkassetten, Roboter für Maschinenbeladung und RFID-Identifikationssysteme.<\/p>\n
Eine Auswahl unserer erfolgreich realisierten Automatisierungslösungen finden Sie hier:<\/p>\n
Komplettes Materialhandling einer nass-chemischen Fertigungszelle inklusive Transport, Lagerung und Handhabung von Transport- und Prozesskassetten, Maschinenbeladung, Kassettenwechsel, Carrier- und Einzelscheiben-Identifizierung, Mapping, Notching<\/p>\n
Komplette Intralogistik-Automatisierung einzelner Prozess-Bays inkl. Lagerung in Zero-Footprint-Stocker, Transport über Conveyor-System und Direct-Tool-Loading mit Hilfe von RGVs sowie E23-Handling<\/p>\n
Materialautomatisierung von Nassbänken durch stationäre 6-Achs-Roboter inkl. Anbindung an Deckentransportsystem sowie vollautomatischer Be- und Entladung der Prozessanlagen<\/p>\n