{"id":12271,"date":"2023-04-04T13:50:21","date_gmt":"2023-04-04T11:50:21","guid":{"rendered":"https:\/\/www.fabmatics.com\/?page_id=12271"},"modified":"2026-03-05T11:06:53","modified_gmt":"2026-03-05T10:06:53","slug":"lagersystem-reinraum-cubestocker","status":"publish","type":"page","link":"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/produkte\/storage\/stocker-systeme\/lagersystem-reinraum-cubestocker\/","title":{"rendered":"CubeStocker Lagersystem"},"content":{"rendered":"<h2>Partikelfreie Zwischenlagerung in der Halbleiterproduktion<\/h2>\n<p>Der CubeStocker ist ein bodengest&uuml;tztes vollautomatisches Lagersystem f&uuml;r offene 200mm Wafer-Carrier. Die automatische Ein- und Ausgabe f&uuml;r dieses System erfolgt z.B. &uuml;ber ein Deckentransportsystem (Conveyor).<\/p>\n<p><img loading=\"lazy\" decoding=\"async\" class=\"size-medium wp-image-12280 alignleft\" title=\"CubeStocker Lagersystem Au&szlig;enansicht\" src=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2023\/03\/stocker-solution-cleanroom-cube-stocker-225x300.jpg\" alt=\"Frontansicht des CubeStocker im Reinraum mit Servicetechniker im Reinraumanzug\" width=\"225\" height=\"300\" srcset=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2023\/03\/stocker-solution-cleanroom-cube-stocker-225x300.jpg 225w, https:\/\/www.fabmatics.com\/files\/2023\/03\/stocker-solution-cleanroom-cube-stocker.jpg 767w\" sizes=\"auto, (max-width: 225px) 100vw, 225px\" \/>Das Besondere: Innerhalb des CubeStockers wird eine eigene ISO 3-Reinraumatmosph&auml;re geschaffen, um die Wafer vor dem n&auml;chsten Bearbeitungsschritt absolut sauber zwischenzulagern. Somit r&auml;umen wir dem Produktionsprozess einen Puffer ein, ohne dass durch die Zwischenlagerung die Qualit&auml;t der Ausbeute leidet. Durch die eigene Versorgung mit sauberer Luft kann der CubeStocker auch im Grauraum (ISO 6) platziert werden, um die wertvolle Reinraumfl&auml;che f&uuml;r wichtige Produktionsmaschinen zu sparen.<\/p>\n<p>Der CubeStocker ist besonders f&uuml;r Halbleiterfabriken geeignet, die keine Lagerm&ouml;glichkeit unter der Decke haben. Er bietet in seiner kompakten Form Platz f&uuml;r bis zu 200 Waferkassetten. Der Aufbau des CubeStockers erfolgt von &bdquo;innen&ldquo;. So kann das System auch in Ecken und Nischen problemlos aufgestellt werden. Auch eine Aneinanderreihung von mehreren Stockern ist so m&ouml;glich.<\/p>\n<p>Die Identifikation des angelieferten Materials erfolgt mittels RFID-Technik.<\/p>\n<h3>Herzst&uuml;ck des Lagersystems ist ein Roboterportal<\/h3>\n<p>Das Roboterportal im Inneren des CubeStockers besteht aus zwei parallel angesteuerten Vertikalachsen sowie einem 6-Achs-Roboter. Dieser holt die Kassetten vom Transportsystem und&nbsp; lagert sie in die Lagerpl&auml;tze ein- und aus. Die hohe Pr&auml;zision und Linearit&auml;t des Roboterarms stellt ein gefahrloses und vibrationsfreies Handling der sensiblen Wafer sicher. Das Anlernen der einzelnen Lagerpl&auml;tze erfolgt automatisch, so dass die Inbetriebnahme bzw. Instandsetzung so kurz wie m&ouml;glich gehalten werden kann und das System der Produktion schnell zur Verf&uuml;gung steht.<\/p>\n<h4>Features:<\/h4>\n<ul>\n<li>Hohe Stelldichte (200 Waferkassetten)<\/li>\n<li>Erf&uuml;llt Reinraumklasse ISO-3<\/li>\n<li>Hochperformanter <a title=\"\" href=\"https:\/\/www.staubli.com\/de\/de\/robotics\/produkte\/roboterarme\/tx2-90.html\" target=\"_blank\" rel=\"noopener\">St&auml;ubli Roboterarm TX2-90XL<\/a> mit 1450 mm Reichweite in Super Cleanroom Ausf&uuml;hrung (SCR)<\/li>\n<li>Ein- und Ausgabe &uuml;ber Schnittstellen zum Deckentransportsystem (Conveyor)<\/li>\n<li>Systemweite Carrier-Identifikation durch RFID-Technologie<\/li>\n<li>Einbindung in bestehende Automatisierung durch SEMI SECS\/GEM Schnittstelle<\/li>\n<li>Reduzierte Dauer der Inbetriebnahme bzw. Instandsetzung durch automatisches Anlernen der Roboterpositionen<\/li>\n<\/ul>\n<p><span class=\"iframe-wrapper\"><iframe loading=\"lazy\" width=\"560\" height=\"315\" src=\"\" title=\"YouTube video player\" frameborder=\"0\" allow=\"accelerometer; autoplay; clipboard-write; encrypted-media; gyroscope; picture-in-picture; web-share\" referrerpolicy=\"strict-origin-when-cross-origin\" allowfullscreen data-src=\"https:\/\/www.youtube-nocookie.com\/embed\/Tcl3O0hcY7Q?si=ZQZJvw8zxWAZw0zx\" data-cookiecategory=\"functionality\" data-cookiescript=\"accepted\"><\/iframe><span class=\"iframe-wrapper-info\"><span><strong>Externe Inhalte<\/strong><br><br>Bitte <a href=\"javascript:CookieScript.instance.acceptAction(%5B'functionality'%5D)\">akzeptieren Sie \"Externe Medien\"-Cookies<\/a> um den Inhalt zu sehen.<br><br><small>Ich bin einverstanden, dass mir externe Inhalte angezeigt werden und personenbezogene Daten an Dritte laut den <a href=\"https:\/\/www.fabmatics.com\/de\/produkte\/storage\/stocker-systeme\/lagersystem-reinraum-cubestocker\/\" target=\"_blank\">Datenschutzbestimmungen<\/a> &uuml;bermittelt werden. <\/small><\/span><\/span><\/span><\/p>\n","protected":false},"excerpt":{"rendered":"<p>Partikelfreie Zwischenlagerung in der Halbleiterproduktion Der CubeStocker ist ein bodengest&uuml;tztes vollautomatisches Lagersystem f&uuml;r offene 200mm Wafer-Carrier. 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