Intelligent gesteuerter Rollenförderer

Dieses automatisierte Transportsystem für Halbleiterfabriken eignet sich zur Förderung fast aller Arten und Größen von Transportbehältern wie FOUPs, SMIF Pods, offenen Kassetten und kundenspezifischen Boxen. Die in Zonen angeordneten, separat angesteuerten Antriebsmotoren der Linear-Rollenförderer ermöglichen den kollisionsfreien Transport entsprechend höchsten Reinraumanforderungen. Die Transportgüter können somit auch in den Sektionen unterschiedlich beschleunigt oder verzögert werden. Antriebsseite und passive Laufrollen der Gegenseite sind durch Hohlwellen verbunden, so dass ein synchroner beidseitiger Antrieb sichergestellt wird. Durch seine Drehteller und Lifte über mehrere Ebenen lässt sich das System auch in beengten Räumlichkeiten vielseitig einsetzen.

Ein besonderes Merkmal des Fördersystems IntelliTrack® ist die unvergleichlich einfache und flexible Steuerung über eingebaute Micro-Controller für definierte Funktionsgruppen. Mit der „Plug & Play“-Funktion des Fördersystems lassen sich Produktionsausfallzeiten, die normalerweise durch aufwändige Installationsarbeiten entstehen, deutlich reduzieren.

Anwendungsszenarien:

  • High-Speed-Transport von Waferkassetten von Anlage zu Anlage
  • Puffern von Waferkassetten unter der Reinraumdecke z.B. Empty Pod Management

Features:

  • Erfüllt die Anforderungen der Reinraumklasse 3 / US FED 1
  • Konfigurierbar auf verschiedene Produktträger
  • Systemerweiterung jederzeit möglich
  • Automatisierungs- und Integrationsmöglichkeiten mit SEMI E84, SECS II gemäß SEMI E4, E5, E30, E37
  • Leicht zu kombinieren mit anderen Transportsystemen
  • Einfache Installation und Integration