Überblick Transportsysteme

Fahrerlose Transportsysteme (AGV)

HERO® FAB

Freifahrendes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

HERO® FAB

SCOUTtriax & SCOUTactive

SCOUT

Autonom navigierendes Fahrzeug als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen

SCOUT

 

Schienengebundene Transportsysteme (RGV)

Automatisiertes Carrier Handling mit mobilem Roboter HERO

HERO®

Schienengebundenes Robotersystem zum Transport und Handling von Waferkassetten

HERO®

 

Manuelle Transportsysteme (PGV)

RFID Person Guided Vehicle

Optimale Lösung für Bereiche, in denen ein automatischer Transport nicht möglich ist

RFID Person Guided Vehicle

Smart Cart

Smart Cart

Akkubetriebener Reinraum-Transportwagen mit höchster Wendigkeit und Nutzlast

Smart Cart

 

Conveyorsysteme

IntelliTrack

IntelliTrack

Rollenfördersystem zum Transport unterschiedlichster Behälter durch die Fabrik

IntelliTrack

 

Loadports

Slim Purge Load Port

Slim Purge Load Port

Flexible Ein- und Ausgabestation für manuellen Zugriff mit Purge-Funktionalität

Slim Purge Load Port

Slim Load Port mit 300mm FOUP

Slim Load Port

Input/Output Station für den manuellen Zugriff an jedem beliebigen Ort der Fabrik

Slim Load Port

Smart Load Port

Smart Load Port

Input/Output Station mit zwei Plätzen und Operator GUI für den manuellen Zugriff

Smart Load Port