Platz dort nutzen, wo er nicht gebraucht wird

Bei eingeschränkten Platzverhältnissen ist dieses innovative Ablagesystem die ideale Lösung zur Lagerung von Carriern, FOUPs und anderen Produktträgern. Ohne Beanspruchung teurer Reinraumfläche wird das Zero Footprint Storage System an der Reinraumdecke abgehängt und kann dort die Waferbehälter aufnehmen und zwischenlagern. Die Inventarisierung erfolgt mittels RFID, um den Standort der Produktionslose in Echtzeit ermitteln zu können.

Durch den Anschluss an ein Transportsystem, z.B. ein Overhead Transportsystem oder Conveyorelemente kombiniert mit vertikalen Liften, ermöglicht das System jederzeit den schnellen Zugriff auf eingelagerte Lose. Durch die einfach gehaltene Konstruktion auf Basis bewährter Industriebauteile ist eine flexible Größenanpassung auf Kundenwunsch jederzeit möglich.

Features:

  • Lagerung von Waferkassetten und anderen Produktträgern unterhalb der Reinraumdecke
  • RFID-Technologie ermöglicht die Standortermittlung der Lose in Echtzeit
  • Steuerungsoftware kompatibel mit SEMI E84, SECS II
  • Flexible Anpassung der Konstruktion nach Kundenwunsch