Überblick Lagersysteme

Stocker-Lagersysteme

Platzsparendes Lagersystem unter der Reinraumdecke

FlatStocker

Platzsparende Lagerung unterschiedlicher Produktträger unterhalb der Reinraumdecke

FlatStocker

Zero Footprint Storage

ZFS (Conveyor)

Platzsparende Lagerung unterhalb der Reinraumdecke mittels Zero Footprint Storage

ZFS (Conveyor)

 

Regalsysteme

Reinraum RFID Regal zur Lagerung von Carrier Boxen

RFID Regale

Produkte werden beim Abstellen automatisch identifiziert und nachvollziehbar eingelagert

RFID Regale

 

Purge Systeme

FOUP Purge System

FOUP Purge System

Nachrüstbares Purge System schützt die Wafer zwischen den Produktionsschritten

FOUP Purge System