Roboter im Reinraum
Mit unseren Systemen zur Handhabung von Wafern, Masken und Carriern in der Halbleiterindustrie sowie von Substraten in der Mikro- und Nanoelektronik auf Roboterbasis machen wir ein manuelles Eingreifen überflüssig.
Überblick Handlingsysteme
Carrier Handling
ACH - LUNA
Klassische Roboterzelle zur automatisierten Maschinenbe- und -entladung von Losen
Carriergreifer
Carrier Handling an bestehenden Anlagen mit besonderen Einsatzbedingungen
Wafer Handling
Wafergreifer, 100 bis 450 mm
Greifarm zur Handhabung einzelner Wafer in verschiedenen Größen
Reticle Handling
EUV-Reticle-Handling
Handhabung in höchster Reinraumqualität für die EUV-Lithografie
Reticle Greifer
Greifer zum sicheren und zuverlässigen Handhaben einzelner Photomasken
Mobile Roboter
SCOUT
Autonom navigierendes Fahrzeug als Alternative zu festinstallierten Transportsystemen
Handling Tools
