Systeme für den vollautomatischen Materialtransport

Transportlösungen

Der automatische Ablauf sämtlicher Materialtransporte bis zur Prozessanlage ermöglicht die Einsparung wertvoller Operator-Zeit. Mit unseren automatisierten Transportsystemen lassen sich problemlos verschiedene Arten von Kassetten und andere Produkte mit unterschiedlichen Inhalten innerhalb der Produktionsabläufe befördern.

Zusätzliche Arbeitsschritte wie das Auslesen der Carrier-IDs und Wafer-IDs, die Verifizierung (Mapping) und das Ausrichten (Notchen) der Wafer können wir zeitsparend in diesen Prozess integrieren – überall in der Transportstrecke.

Unsere mobilen Systeme übernehmen zudem Handlingaufgaben, wie das Be- und Entladen von Produktionsanlagen.

Für 300mm-Halbleiterfabriken haben wir Ein- und Ausgabestationen für Overhead-Transportsysteme als intelligente Schnittstelle zwischen dem Operator und einem Automatisierungssystem entwickelt.

Auf einen Blick:

• Fest installierte Transportsysteme wie Rollenförderer, inklusive Liftsysteme und Drehteller
• Mobile, schienengebundene Transportsysteme, wie unseren HERO®
• Mobile, autonom navigierende Roboter, wie SCOUT® undHERO® FAB
• Manuelle Ein- und Ausgabestationen für Overhead-Transportsysteme
• Manuell bedienbare Transportwagen

Unsere Transportsysteme sind geeignet für Fabriken bis Reinraumklasse ISO3 (US FED 1).